纤维多孔材料导热系数的测试误差研究

对平板测试传感器测试下的纤维多孔材料内部热传导进行了数值模拟。首先针对纤维多孔材料建立了温度场速度场耦合热传递方程,然后利用数值模拟结果对纤维多孔材料导热系数的测试误差进行了考察,并对导热系数测试误差与纤维多孔材料物理以及结构参数之间的关系进行了分析。在查清误差产生根源的基础上对导热系数、厚度、渗透系数与热流量的关系进行了回归拟合,从而建立了更为精确的导热系数计算公式,并通过实验进行了验证。

容性耦合等离子体的均匀性研究

使用朗缪尔双探针诊断方法,研究放电极板配置和放电参数对13.56 MHz容性耦合等离子体的电子温度、电子密度和电子能量密度分布的影响。其中极板配置包括圆孔极板、极板数量和极板间距,放电参数包括放电功率和放电气压。实验结果表明:极板配置和放电参数不仅影响等离子体的电子温度、电子密度和电子能量密度,而且影响等离子分布的均匀性;两对放电极板和接地圆孔极板均提高了等离子体的均匀性,但降低了等离子体的电子密度和电子能量密度,其中两对放电极板可将电子密度的均匀性由77.9%提高至93.5%,而圆孔极板则可将电子密度的均匀性由77.9%提高至96.4%;高功率可获得高电子密度、高电子能量密度但低均匀性的等离子体。

极板类型及极性对容性耦合等离子体均匀性的影响

使用朗缪尔双探针诊断方法,研究了圆孔刻槽极板和极性电极(相位差Δφ=00和Δφ=1800)在不同条件下对13.56 MHz容性耦合等离子体均匀性的影响。同时提到了点亮问题对等离子体分布的影响。实验结果表明:圆孔刻槽极板和极性电极均可避免点亮问题,提高等离子的均匀性。圆孔刻槽极板将电子密度的均匀性由85.6%提高到93.7%(功率为50W),由63.6%提高到84.6%(功率为300 W);反相位极性电极的电子密度的均匀性可达到90%以上(功率为50 W)和80%以上(功率为300 W)。