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CVD工艺及设备技术
被引量:
2
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作者
H.Strakov
A.Scott
《工具技术》
2013年第7期33-36,共4页
过去30多年来,对于CVD(化学气相沉积)涂层用于防护性应用方面的要求增长迅猛。通过提高工业涂层设备的可靠性,基体材料的持续优化,以及针对应用问题诸如前后处理等辅助工艺的集中解决方案等,相应的技术进步实现了从上世纪60年代的单一...
过去30多年来,对于CVD(化学气相沉积)涂层用于防护性应用方面的要求增长迅猛。通过提高工业涂层设备的可靠性,基体材料的持续优化,以及针对应用问题诸如前后处理等辅助工艺的集中解决方案等,相应的技术进步实现了从上世纪60年代的单一涂层发展到现今的复杂涂层系统。CVD技术已广泛应用于硬质合金切削刀具行业,同时也广泛用于需要特殊设计涂层材料系统的专业市场。如今的涂层可通过改变微观结构或掺杂不同的元素来进行改性,这使得CVD技术有能力满足众多的需求。这一切都可用改进的专业系统监控特殊前驱物质的沉积设备来实现。
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关键词
CVD
复合涂层
沉积工艺
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职称材料
题名
CVD工艺及设备技术
被引量:
2
1
作者
H.Strakov
A.Scott
机构
瑞士ihi ionbond ag公司
出处
《工具技术》
2013年第7期33-36,共4页
文摘
过去30多年来,对于CVD(化学气相沉积)涂层用于防护性应用方面的要求增长迅猛。通过提高工业涂层设备的可靠性,基体材料的持续优化,以及针对应用问题诸如前后处理等辅助工艺的集中解决方案等,相应的技术进步实现了从上世纪60年代的单一涂层发展到现今的复杂涂层系统。CVD技术已广泛应用于硬质合金切削刀具行业,同时也广泛用于需要特殊设计涂层材料系统的专业市场。如今的涂层可通过改变微观结构或掺杂不同的元素来进行改性,这使得CVD技术有能力满足众多的需求。这一切都可用改进的专业系统监控特殊前驱物质的沉积设备来实现。
关键词
CVD
复合涂层
沉积工艺
Keywords
CVD
combined coatings
deposition process
分类号
TG174.4 [金属学及工艺—金属表面处理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
CVD工艺及设备技术
H.Strakov
A.Scott
《工具技术》
2013
2
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