21世纪的硅材料——SOI

SOI是一种在硅材料与集成电路巨大成功的基础上出现的有独特优势 ,能突破硅材料与硅集成电路限制的新技术 ,被国际上公认为是“二十一世纪的微电子技术”。介绍了SOI材料的性能及主要制备技术 ,对其应用前景也做了详尽的论述。