大束流离子注入机能量污染的研究

能够精确控制离子注入的能量从而控制掺杂的深度是离子注入机的重要特征。本文讨论了大束流离子注入机能量污染，产生的原因及降低能量污染的方法。

三维图像处理及应用研究

本文描述视觉传感器的三维图像处理方法及结果,简述了其应用前景.

极谱催化波在硅酸盐岩石分析中的应用概况

概述了我国８０年代以来，极谱催化波在硅酸盐岩石分析中的实际应用。引用文献４１篇。

束流纹波对全机械扫描离子注入机重复性的影响

分析了束流纹波系数对全机械扫描强流离子注入机重复性的影响，并进行了定量的计算。计算结果表明，要使注入重复性达到小于或等于１％，束流纹波必须稳定在１０％以内。该结果已在ＬＣ－１１型强流离子注入机中得到了验证。

用于强流离子注入机的磁分析器电源设计

本文简要介绍了该电源的指标及电路．并详细论述了提高电源稳定度和可靠性的方法和措施，最后给出了测试结果和运行情况。

多回路智能温控仪的研制

本文介绍了以单片机为核心的多回路智能温控仪的研制。主要包括系统的总体结构，硬件设计、软件设计及可靠性设计，该温控仪在调试过程中获得了满意的结果。

可编程控制器在强流离子注入机真空系统中的应用

本文介绍了以可编程控制器SYSMAC-C200H为核心的真空控制系统,描述了控制系统的要求、组成及系统软件、硬件的设计思想和故障指示.

TK—65型特种油扩散泵

本文简要介绍了TK—65型特种油扩散泵的研制背景、指标、结构和特点,着重报导了该泵的测试结果及其分析。