热壁LPCVD多晶硅薄膜在硅CCD多路传输器研制中的应用

本文主要介绍多晶硅薄膜的淀积方法。对热壁ＬＰＣＶＤ多晶硅薄膜的表面形貌以及掺磷后的薄膜电阻进行分析。其次简要叙述了多晶硅薄膜在硅ＣＣＤ多路传输器研制中的应用。

混合式PtSi—SBIRFPA的进展

着重介绍混合式硅化铂肖特基势垒红外焦平面阵列（ＨＰｔＳｉ－ＳＢＩＲＦＰＡ）的典型结构和现状。

硒化铅红外探测器的性能参数分析

本文主要介绍硒化铅红外探测器在不同工作温度下的性能数据，并且简要叙述了该探测器的性能参数的测试条件。