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一种制造开关器件掺金的新方法
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作者 保爱林 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1991年第6期50-52,共3页
本文讨论了高速在开关器件制造过程中所采用的蒸金工艺的不足。通过实验证实采用新的掺金工艺所生产的开关器件开关参数一致性,以及输出特性均好于前者生产的器件。
关键词 开关器件 掺金 制造 控制
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