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一种制造开关器件掺金的新方法
1
作者
保爱林
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1991年第6期50-52,共3页
本文讨论了高速在开关器件制造过程中所采用的蒸金工艺的不足。通过实验证实采用新的掺金工艺所生产的开关器件开关参数一致性,以及输出特性均好于前者生产的器件。
关键词
开关器件
掺金
制造
控制
下载PDF
职称材料
题名
一种制造开关器件掺金的新方法
1
作者
保爱林
机构
石家庄国营第八一三
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1991年第6期50-52,共3页
文摘
本文讨论了高速在开关器件制造过程中所采用的蒸金工艺的不足。通过实验证实采用新的掺金工艺所生产的开关器件开关参数一致性,以及输出特性均好于前者生产的器件。
关键词
开关器件
掺金
制造
控制
分类号
TM643 [电气工程—电力系统及自动化]
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作者
出处
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1
一种制造开关器件掺金的新方法
保爱林
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1991
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