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标准硅片波数定值及测量不确定度
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作者 谭云欢 李伯鸿 +1 位作者 何晓洁 罗荷洲 《科技资讯》 2019年第24期1-3,共3页
建立标准硅片波数值的测定方法,并对波数值的测量结果进行不确定度评定。方法:以硅片作为样品,用精密拉曼光谱仪测量520cm^-1附近的拉曼散射信号,记录该峰位的相对波数值。建立数学模型,分析各不确定度分量引入的不确定度,评定波数值的... 建立标准硅片波数值的测定方法,并对波数值的测量结果进行不确定度评定。方法:以硅片作为样品,用精密拉曼光谱仪测量520cm^-1附近的拉曼散射信号,记录该峰位的相对波数值。建立数学模型,分析各不确定度分量引入的不确定度,评定波数值的测量不确定度。 展开更多
关键词 标准硅片 单晶硅 拉曼光谱仪 波数不 确定度
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