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标准硅片波数定值及测量不确定度
1
作者
谭云欢
李伯鸿
+1 位作者
何晓洁
罗荷洲
《科技资讯》
2019年第24期1-3,共3页
建立标准硅片波数值的测定方法,并对波数值的测量结果进行不确定度评定。方法:以硅片作为样品,用精密拉曼光谱仪测量520cm^-1附近的拉曼散射信号,记录该峰位的相对波数值。建立数学模型,分析各不确定度分量引入的不确定度,评定波数值的...
建立标准硅片波数值的测定方法,并对波数值的测量结果进行不确定度评定。方法:以硅片作为样品,用精密拉曼光谱仪测量520cm^-1附近的拉曼散射信号,记录该峰位的相对波数值。建立数学模型,分析各不确定度分量引入的不确定度,评定波数值的测量不确定度。
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关键词
标准硅片
单晶硅
拉曼光谱仪
波数不
确定度
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职称材料
题名
标准硅片波数定值及测量不确定度
1
作者
谭云欢
李伯鸿
何晓洁
罗荷洲
机构
海峡富民生质检技术服务
有限公司
福州云石科技有限公司
出处
《科技资讯》
2019年第24期1-3,共3页
文摘
建立标准硅片波数值的测定方法,并对波数值的测量结果进行不确定度评定。方法:以硅片作为样品,用精密拉曼光谱仪测量520cm^-1附近的拉曼散射信号,记录该峰位的相对波数值。建立数学模型,分析各不确定度分量引入的不确定度,评定波数值的测量不确定度。
关键词
标准硅片
单晶硅
拉曼光谱仪
波数不
确定度
Keywords
Standard silicon
Single silicon
Raman spectrometer
Wavenumber value
Measurement uncertainty
分类号
TB9 [机械工程—测试计量技术及仪器]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
标准硅片波数定值及测量不确定度
谭云欢
李伯鸿
何晓洁
罗荷洲
《科技资讯》
2019
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