高精度气体罗茨流量计设计

研究了气体罗茨流量计的计量特性,给出保证精度的最佳设计方案。试验结果表明,合理设计气体罗茨流量计结构和尺寸链公差分布,能使气体罗茨流量计在比较宽流量范围内的线性精度受雷诺数影响甚微。对我公司优化设计的HR50G65型气体罗茨流量计试验结果证明,该流量计具有测量精度高、重复性好、下限流量低、流量范围宽等优点,从而具有独特的小流量灵敏度和高稳定性的新一代气体罗茨流量计(下称流量计)。