真空绝热板

真空绝热板（Vacuum Insulation Panel，简称VIP）是一种新型超级保温材料，是将隔热性能良好的芯材如玻璃纤维、气相二氧化硅、纤维和粉末材料的混合物以及聚安酯、酚醛、聚苯乙烯等的发泡材料装入阻隔气体性能良好的高分子复合薄膜袋中，抽真空后再密封起来所形成的板材。

高精度电容式微型压力传感器

本文从应用开发MEMS产品的实用角度出发，着力介绍一种新型的电容式微型压力传感器的结构组成和它的MEMS制造工艺。文中详细给出了这种电容式微型压力传感器的结构组成图、组成尺寸和它各部分部件的材料构成以及在硅材料加工过程中存在的主要技术难题。最后，详细给出了电容式微型压力传感器的加工工艺过程。