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离子注入机专利技术 被引量:1
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作者 林琳 张欢乐 李文松 《中国新技术新产品》 2021年第20期133-135,共3页
离子注入机的基本原理是入射离子与半导体(靶)的原子核和电子不断发生碰撞,其方向改变,能量减少,经过一段曲折路径的运动后,因动能耗尽而停止在某处从而改变该处的电学特性以及实现掺杂。该文根据离子注入机各部分的不同作用,将离子体... 离子注入机的基本原理是入射离子与半导体(靶)的原子核和电子不断发生碰撞,其方向改变,能量减少,经过一段曲折路径的运动后,因动能耗尽而停止在某处从而改变该处的电学特性以及实现掺杂。该文根据离子注入机各部分的不同作用,将离子体注入机分解为六个技术分支,具体包括离子源、离子筛选系统、加速结构(加速或减速)、束流系统(包括扫描、聚焦等调整注入前束流种类或参数的其他结构)、靶室、控制系统等,根据离子注入机领域产业的发展现状、多个关键技术领域的专利状况,分析了该领域的专利申请量和核心,同时对该领域未来发展趋势进行了预测。 展开更多
关键词 离子注入机 核心专利 发展趋势
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巧克力球囊专利技术综述
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作者 林琳 胡清 +1 位作者 张欢乐 栗彬彬 《科技创新与应用》 2022年第9期158-161,共4页
在表面设计纵横交错的导丝束缚的凹凸结构,在球囊充盈扩张时有导丝束缚的区域会形成一个相对低压区,从而产生一定的缓冲作用来减少球囊扩张对血管内膜的损伤,其在冠脉和外周介入的领域应用广泛。文章分析采用专利分析法对巧克力球囊进... 在表面设计纵横交错的导丝束缚的凹凸结构,在球囊充盈扩张时有导丝束缚的区域会形成一个相对低压区,从而产生一定的缓冲作用来减少球囊扩张对血管内膜的损伤,其在冠脉和外周介入的领域应用广泛。文章分析采用专利分析法对巧克力球囊进行研究的国内外专利申请文献,分析该领域的专利申请量、专利类型和状态,归纳出国内外核心申请人的核心专利情况,同时对该领域未来发展趋势进行预测。 展开更多
关键词 巧克力球囊 核心专利 发展趋势
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