微波准静态连续化烧结Al_2O_3莫来石陶瓷辊棒的研究

利用微波烧结工艺的特性，研究了混合场的模型，提出了陶瓷材料的准静态烧结概念． 在实验研究基础上得到Ａｌ２Ｏ３ 陶瓷的准静态烧结条件，并成功地实现了４０ ｍｍ ×２ ４００ ｍｍ 陶瓷辊棒的微波连续化烧结． 结果表明，微波烧结陶瓷辊棒的抗热震性能及抗弯强度均有较大幅度提高．

微波等离子CVD金刚石设备中基片加热材料的三维温度场型研究

在微波等离子ＣＶＤ设备中，微波电磁场的不均匀分布将导致等离子球和基片的温度不均匀，从而降低ＣＶＤ金刚石的质量，因而基片加热是需要的。材料的吸收微波能的能力同微波频率、电场强度、材料的介电常数和介电损耗及材料体积相关，材料的介电常数、介电损耗、导热率又同温度相关。基于热力学理论，本文用强上微波能的ＳｉＣ材料作了基片加热材料，放在微波等离子腔的基片下，研究了三维轴对称温度场模型。