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MEMS开关及其应用
1
作者
翁寿松
《电子元器件应用》
2003年第8期17-19,共3页
介绍MEMS开关的分类、特性、制造、可靠性和应用。
关键词
MEMS开关
微电子机械系统
微机械开关
射频微机械开关
应用
下载PDF
职称材料
题名
MEMS开关及其应用
1
作者
翁寿松
机构
罗特电子有限公司
出处
《电子元器件应用》
2003年第8期17-19,共3页
文摘
介绍MEMS开关的分类、特性、制造、可靠性和应用。
关键词
MEMS开关
微电子机械系统
微机械开关
射频微机械开关
应用
Keywords
Microelectronic mechanical system (MEMS)
MEMS switch
RF MEMS switch
分类号
TM564 [电气工程—电器]
TH-39 [机械工程]
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作者
出处
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1
MEMS开关及其应用
翁寿松
《电子元器件应用》
2003
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