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二氧化碳薄膜微电极器件的制作及其特性研究
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作者 周仲柏 刘炯权 《传感技术学报》 CAS CSCD 1995年第1期1-6,共6页
提出一种用微细加工技术构制的二氧化碳薄膜微电极器件.这类器件具有常规微电极所特有的全部优点,而且结构紧凑,便于集成化.用作电流型二氧化碳气敏器件,在室温下有良好的工作特性:响应电流在整个CO_2浓度范围内呈线性,并通过原点;90%... 提出一种用微细加工技术构制的二氧化碳薄膜微电极器件.这类器件具有常规微电极所特有的全部优点,而且结构紧凑,便于集成化.用作电流型二氧化碳气敏器件,在室温下有良好的工作特性:响应电流在整个CO_2浓度范围内呈线性,并通过原点;90%响应时间约30s;连续工作6h性能稳定,重现性好. 展开更多
关键词 微电极器件 微细加工 二氧化碳 薄膜 微电极
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