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基于AFM的机器人化纳米操作系统综述
被引量:
8
1
作者
田孝军
王越超
+1 位作者
董再励
席宁
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期14-23,共10页
对基于扫描隧道显微镜(Scanning tunnel microscope,STM)及原子力显微镜(Atomicforcemicroscope,AFM)的纳米操作技术发展进行阐述,针对其中存在的主要问题,引述出机器人化纳米操作的必要性。接着,对国内外机器人化纳米操作系统的研究进...
对基于扫描隧道显微镜(Scanning tunnel microscope,STM)及原子力显微镜(Atomicforcemicroscope,AFM)的纳米操作技术发展进行阐述,针对其中存在的主要问题,引述出机器人化纳米操作的必要性。接着,对国内外机器人化纳米操作系统的研究进展、现状及存在的主要问题进行详细分析,提出基于AFM的机器人化纳米操作系统的结构原型,并指出实现机器人化纳米操作所需解决的关键技术问题及相应的解决方案之一,为进行深入的机器人化纳米操作研究提供了可以借鉴的研究方向。
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关键词
纳米操作
原子力显微镜
机器人化
探针定位
信息反馈
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职称材料
题名
基于AFM的机器人化纳米操作系统综述
被引量:
8
1
作者
田孝军
王越超
董再励
席宁
机构
中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室
美国密西根州立大学电子与计算机工程系东兰辛m
出处
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期14-23,共10页
基金
国家自然科学基金重点资助项目(60635040)
文摘
对基于扫描隧道显微镜(Scanning tunnel microscope,STM)及原子力显微镜(Atomicforcemicroscope,AFM)的纳米操作技术发展进行阐述,针对其中存在的主要问题,引述出机器人化纳米操作的必要性。接着,对国内外机器人化纳米操作系统的研究进展、现状及存在的主要问题进行详细分析,提出基于AFM的机器人化纳米操作系统的结构原型,并指出实现机器人化纳米操作所需解决的关键技术问题及相应的解决方案之一,为进行深入的机器人化纳米操作研究提供了可以借鉴的研究方向。
关键词
纳米操作
原子力显微镜
机器人化
探针定位
信息反馈
Keywords
Nanomanipulation Atomic force microscope Robotization Probe positioning Information feedback
分类号
TP24 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH742 [机械工程—光学工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于AFM的机器人化纳米操作系统综述
田孝军
王越超
董再励
席宁
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
8
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