金刚石类超薄膜的力学性能和表面性质与掺杂剂对它的影响

用经典的力场方法对金刚石(C)、氮化硼(BNx)和氮化碳(CNx)结晶硬涂层膜的力学性能进行了探讨,确定原子结构、本体和杨氏模量为膜厚度的函数。探讨了吸附物对金刚石模量或表面张力的影响。另外,研究了不同氮化物中氮浓度以及不同取向和键合环境(sp2和sp3)下氮原子对模量的影响,揭示了系统的规律。同时,测定了空位对硬度的影响。