微洁净环境中的颗粒监测

微环境的出现极大地提高了半导体加工过程的洁净度。新的微环境设计原理,例如防护罩、正压强和机械臂的应用使其性能明显地优于传统的设计。安装和调校微洁净环境的过程为精确调试工艺设备提供了的机会,使之能在ISO一级或二级洁净度的环境中开始运行。

空气中分子沾污(AMC)的实时监测

简要地介绍了AiM监测器的原理及应用效果,该系统可以对沉积于SiO2表面的空气分子沾污AMC进行实时监测,所获得的数据对于了解洁净室内的工艺过程与产生AMC间的相互关系特别有用。通过监测吸附物总量的长期变化趋势,可以确定洁净室内环境沾污的基本值,以便有利于对新污染源的早期确认。