基于LabVIEW的PVD/CVD材料生长平台真空控制系统

为了能够实时、准确地获取PVD/CVD(物理/化学气相沉积)材料生长平台内部的真空情况,监控真空系统各个部件的运行状态,以及实现便捷安全的实验操作,设计了基于Lab VIEW的PVD/CVD材料生长平台真空控制系统。该系统同时实现了气压数据曲线图表显示,仪器状态可视化监控,实验数据自动保存等功能。经实验室测试使用,效果良好,可靠性高。