金属外延生长的原子级观察

本文用场离子显微镜(FIM)对金属外延层的结构进行了原子级的观察。超晶格外延生长的条件依赖于表面能和晶格参数的匹配。在表面能匹配条件被满足的情况下,从原子级尺度来看,外延生长中存在各种缺陷,例如空位、空位团、空洞、位错和孪晶。产生缺陷主要是外延材料与衬底晶格参数失配引起的。实验观察到在一定条件下外延生长会使金属表面合金化。可能的机制是交换扩散机制。