新一代金属离子纯化器,用于ppt级别光刻胶纯化

随着半导体技术进步,光刻胶中金属离子杂质对芯片性能与寿命影响显著,传统去金属离子方法已难满足ppb级以下高纯度需求。亟须创新技术提升去除效率,保障芯片质量以满足生产过程中的严苛要求。本文会向大家介绍一款舒万诺公司(原3M Healthcare)的高效金属离子纯化器Metal Ion Purifier(以下简称“MIP”),采用特殊的树脂固化微床技术,具有很高的单次通过金属离子去除效率,满足ppt级别的金属离子指标要求,同时具有超高的金属离子交换容量,超低的金属离子析出水平。

应用于高浓度氨氮废水处理及资源化利用绿色高效的膜接触器技术

随着国家和社会环保意识的提高,废水处理越来越受到重视。氨氮作为水体的一个重要污染指标,出现了各种处理工艺。本文会引入一种新型的采用舒万诺Liqui-Cel膜接触器处理并回收氨氮的新工艺,叫做跨膜化学吸收法(TransMembrane ChemiSorption,以下简称“TMCS工艺”)。本论文引入TMCS工艺处理氨氮废水的原理,会以一个具体的案例详细的介绍TMCS系统的选型、设计、工艺实施等。目前采用Liqui-Cel膜接触器TMCS工艺处理氨氮废水已经广泛应用于微电子行业、电厂、市政等各个领域,实现了氨氮的高效回收利用,节能减排等环保要求。