抛光垫及抛光液对固结磨料抛光氧化镓晶体的影响

氧化镓晶体具有高禁带宽度、耐高压、短吸收截止边等优点,是最具代表性的第四代半导体材料之一,具有广阔地应用前景。氧化镓晶体抛光过程易出现微裂纹、划痕等表面缺陷,难以实现高质量表面加工,无法满足相应器件的使用要求,且现有的氧化镓晶体抛光工艺复杂、效率低。固结磨料抛光技术具有磨粒分布及切深可控、磨粒利用率高等优点。采用固结磨料抛光氧化镓晶体,探究抛光垫基体硬度、磨料浓度和抛光液添加剂对被抛光材料去除率和表面质量的影响。结果表明:当抛光垫基体硬度适中为Ⅱ、金刚石磨粒浓度为100%、抛光液添加剂为草酸时,固结磨料抛光氧化镓晶体的材料去除率为68 nm/min,表面粗糙度Sa为3.17 nm。采用固结磨料抛光技术可以实现氧化镓晶体的高效高质量抛光。

空客机轮舱壁板零件机加变形分析及优化策略

空客机轮舱壁板零件对飞机装配起着至关重要的作用,但由于其零件切削量较大,极易产生加工变形。对此,以加工流程为主线,对空客机轮舱壁板零件的结构、工艺流程、变形因素展开研究分析,明确引起零件变形的关键因素。根据分析结果,结合制造厂工艺经验,提出工艺优化策略,并将优化后的工艺策略应用在实际空客机轮舱壁板零件试验加工中,通过改进评价及试验方案结果对比,表明试验成功,证明了该方案的有效性,目前该方案已运用到机轮舱壁板零件的实际加工中,解决了空客机轮舱壁板零件变形问题。