期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
数字微镜器件制造精度误差对紫外光调制特性的影响
被引量:
1
1
作者
袁晓峰
浦东林
+1 位作者
申溯
陈林森
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第4期788-792,共5页
数字微镜器件(DMD)的能量利用率对于提高无掩膜激光直写系统的效率十分重要。对DMD在相干光照明下的相位调制特性进行数值和实验分析,发现同种型号DMD在出射0级光垂直于微镜表面角度入射情况下的衍射图样,其光能量分布各不相同,有0级光...
数字微镜器件(DMD)的能量利用率对于提高无掩膜激光直写系统的效率十分重要。对DMD在相干光照明下的相位调制特性进行数值和实验分析,发现同种型号DMD在出射0级光垂直于微镜表面角度入射情况下的衍射图样,其光能量分布各不相同,有0级光强占总光强27.2%的情况,也有零0级光强占总光强13.1%的情况,理论计算表明,DMD的微镜偏转角存在±1°的误差可以使DMD衍射0级的衍射效率在极大和极小之间变化。这一结论对于选择高能量利用效率的DMD有重要参考价值。
展开更多
关键词
光学器件
数字微镜器件(DMD)
无掩膜光刻系统
相位调制
闪耀光栅
下载PDF
职称材料
题名
数字微镜器件制造精度误差对紫外光调制特性的影响
被引量:
1
1
作者
袁晓峰
浦东林
申溯
陈林森
机构
苏州大学信息光学工程研究所先进光学制造技术教育部重点实验室
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第4期788-792,共5页
基金
国家自然科学基金(60907010)
江苏省科技支撑计划(工业)(BE2009048)
文摘
数字微镜器件(DMD)的能量利用率对于提高无掩膜激光直写系统的效率十分重要。对DMD在相干光照明下的相位调制特性进行数值和实验分析,发现同种型号DMD在出射0级光垂直于微镜表面角度入射情况下的衍射图样,其光能量分布各不相同,有0级光强占总光强27.2%的情况,也有零0级光强占总光强13.1%的情况,理论计算表明,DMD的微镜偏转角存在±1°的误差可以使DMD衍射0级的衍射效率在极大和极小之间变化。这一结论对于选择高能量利用效率的DMD有重要参考价值。
关键词
光学器件
数字微镜器件(DMD)
无掩膜光刻系统
相位调制
闪耀光栅
Keywords
optical devices
DMD
maskless lithography system
phase modulation
blazed grating
分类号
TN29 [电子电信—物理电子学]
O438 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
数字微镜器件制造精度误差对紫外光调制特性的影响
袁晓峰
浦东林
申溯
陈林森
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2012
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部