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题名超低介电常数材料和多孔SiOCH薄膜
被引量:2
- 1
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作者
宁兆元
叶超
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机构
苏州大学薄膜材料江苏省重点实验室
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出处
《世界科技研究与发展》
CSCD
2004年第6期15-23,共9页
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文摘
集成电路的特征尺寸将降低到 0 .1μm ,这时器件内部金属连线的电阻和绝缘介质层的电容所形成的阻容造成的延时、串扰、功耗已经成为限制器件性能的主要因素。目前集成电路的金属连线 /介质层材料为铝 /二氧化硅配置 ,用电阻更小的铜取代铝作金属连线 ,用低介电常数 (低K)材料取代二氧化硅作介质层成为科学意义重要、应用价值巨大的研究课题 ,微电子器件正经历着一场材料的重大变革中。本文着重评述了纳米尺度微电子器件对低介电常数 (低k)薄膜材料的要求 ,介绍了多孔硅基低k薄膜的研究进展。
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关键词
低介电常数
微电子器件
集成电路
特征尺寸
器件性能
串扰
多孔
取代
二氧化硅
薄膜
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Keywords
microelectronics, dielectric, films
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分类号
TN304
[电子电信—物理电子学]
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题名新型锂电池正极材料的制备及电化学性能研究
被引量:5
- 2
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作者
张晖
郑分刚
李德成
沈明荣
张茜
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机构
苏州大学薄膜材料江苏省重点实验室
苏州大学轻工业化学电源研究所
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出处
《电源技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第3期366-369,共4页
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基金
国家自然科学基金(50702036)
苏州科技项目(SYG201041)
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文摘
采用水热法以及后退火处理合成了锂离子电池正极材料Lix/3+1Ni1/2-x/2-y/2Mnx/6+1/2-y/2CryO2(0≤x≤1,0≤y<0.4,x+y≤1)。通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、X射线光电子能谱分析(XPS)以及恒电流充放电测试,研究了复合材料的晶体结构、形貌以及电化学性能,并考察了不同原料配比对材料电化学性能的影响。实验结果表明,制得的Lix/3+1-Ni1/2-x/2-y/2Mnx/6+1/2-y/2CryO2正极材料结晶度高,粒度分布均匀。其中,样品Li1.1833Ni0.2Mn0.5667Cr0.05O2的首次充放电比容量最高,分别为153.5 mAh/g和213.8 mAh/g[电压范围为2.0~5.0 V(vs.Li+/Li),充放电倍率为0.2 C];样品Li1.2Ni0.2-Mn0.6O2则体现出优异的循环稳定性。
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关键词
正极材料
锂离子电池
高电压
水热法
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Keywords
cathode materials
Li-ion battery
high voltage
hydrothermal reaction
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分类号
TM912.9
[电气工程—电力电子与电力传动]
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题名变频偏振微波场辅助斯托纳粒子磁矩翻转的动力学研究
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作者
陈妍
王婷
孙周洲
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机构
苏州大学物理与光电能源学部
苏州大学薄膜材料江苏省重点实验室
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出处
《安徽电子信息职业技术学院学报》
2016年第1期28-31,37,共5页
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基金
国家自然科学基金(11274236)
教育部高等学校博士学科点专项科研基金(20123201110003)
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文摘
文章基于朗道-栗弗席兹-吉尔伯特(Landau-Lifshitz-Gilbert)方程研究了变频偏振微波场辅助斯托纳(Stoner)粒子磁矩翻转的动力学性质。考虑磁单轴各向异性,通过数值模拟研究了磁矩翻转的临界翻转场和对应的微波频率之间的关系。研究表明当偏振微波沿轴﹑轴两个方向的频率均接近于铁磁共振频率时,斯托纳粒子在磁矩翻转过程中需要最小的临界翻转场。这一研究结果有望应用于提高低功耗磁性存储器的存储性能。
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关键词
磁化翻转
微波场辅助
斯托纳粒子
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Keywords
magnetization reversal
microwave assisted
stoner particle
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分类号
O4-33
[理学—物理]
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