表面计量中触针式仪器的若干进展(英文)

在表面测量中,对于触针式仪器需求相当大,因为触测法对斜率不敏感,测量结果具有高度的逼真性,这使它适用于测量同时含有形状与纹理参数的复杂物体.但是由于它测量速度相对较慢,在某些场合会形成劣势.本文阐明可以通过优化阻尼因数来提高横向移动速度,通过建立能够确定触针是否承受过压的判据,使触针不会引起表面损伤.

表面功能特性分形分析(英文)

表面分形分析已开展多年,虽然在涉及制造过程控制方面时出现过一些争论,但已获得了许多有意义的结果.与此同时,用分形来研究表面功能特性所取得的进展有限,其原因之一是,以前分形的重点在于功率谱,而不是对于空间更为敏感的自相关函数.基于此,笔者首次将分形参数引入到基于自相关系数的表面功能参数.进展有限的另一原因是,与表面功能相关的许多确定性实验没有将分形参数包含在参数集中,这主要是由于过去没有能够给出分形参数的表面光洁度仪器,从而失去了确定分形参数价值的可能性.文中提出了一种新的、简单的测量分形特性的方法,它不仅能够利用现有仪器,而且可以从已进行的测量中根据已有的数据快速评定分形特性.