超纯水精处理系统与水质评价

以0.5μm技术之需而设的一套超纯水精处理系统为实例,介绍其工艺流程及其特点,给出各项水质参数的实测数据,进而述评≤0.25μm/8″线的水质评价项目及其限定值、分析手段和在线检测仪表。

颇具竞争力的SOI硅集成技术

主要讨论了SOI集成技术及其发展前景,介绍了SOI技术在VLSI应用方面 的优越性以及在微电子领域中的广泛应用。

300mm晶圆线超纯水水质浅析

基于现代超纯水系统的若干实践,浅析现今超纯水水质的难点(TOC、SiO2、微粒的达标),述评300mm线水质要求上的现实性。

颇具竞争力的SOI硅集成技术(续)

主要讨论了SOI集成技术及其发展前景,介绍了SOI技术在VLSI应用方面的优越性以及 在微电子领域中的广泛应用。