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题名紫外光照下ZnO基薄膜的光电和气敏特性研究
被引量:4
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作者
刘宏伟
孙建平
惠春
徐爱兰
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机构
薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米技术研究院
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出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第4期13-15,共3页
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基金
国家自然科学基金资助项目(50372040)
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文摘
用sol-gel法制备ZnO及掺杂Al3+的ZnO半导体薄膜,利用XRD和AFM对薄膜结构和形貌进行表征。测量了不同掺Al量的薄膜在紫外光照射下电阻的变化,发现随着掺Al量的增大,薄膜在紫外光(波长为365nm)照射后其电阻先减小后增大。在室温下,对薄膜在不同浓度的CO气体下的敏感特性进行了研究,随着气体浓度的增加,薄膜电阻值逐渐减小;随着掺Al量的增大,气敏灵敏性先逐渐增大后减小,发现当铝含量为r(Al:ZnO)=0.5%时,对CO气体的灵敏度最大,并对紫外光照射下气敏半导体薄膜的气敏机理进行了简单分析。
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关键词
电子技术
氧化锌基薄膜
溶胶-凝胶法
紫外光
气敏性能
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Keywords
electronic technology
ZnO-based thin film
sol-gel
UV light
gas sensitive property
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分类号
TN304
[电子电信—物理电子学]
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题名使用SystemC设计UART IP核
被引量:1
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作者
李洋
王森章
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机构
薄膜与微细技术教育部重点实验室 微米/纳米加工技术国家级重点实验室 上海交通大学微纳米技术研究院
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出处
《微型电脑应用》
2004年第4期46-48,54,共4页
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文摘
IP核技术是系统芯片 SOC设计中的一个重要部分 ,如何实现和利用 IP核减小 SOC设计的复杂度成为目前微电子设计中的热点。将 U ART通信技术核心功能设计成紧凑的 IP核 ,易于应用在各种嵌入式环境。本文说明了如何使用 System C语言工具设计该 IP核。
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关键词
SYSTEMC
UART
IP核
SOC设计
异步接收发送器
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分类号
TN402
[电子电信—微电子学与固体电子学]
TN83
[电子电信—信息与通信工程]
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