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Co-Ti-O纳米颗粒合金薄膜的磁阻特性
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作者 方昭训 郑文凯 +1 位作者 赖思宇 陈锦山 《过程工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第z2期333-337,共5页
利用直流与射频磁控溅镀在二氧化硅基板上共沉积制作Co-Ti-O颗粒合金单层薄膜,并通过适当热处理,使薄膜为Co及TiOx混合结晶相.单层颗粒合金薄膜Co59.78Ti16.5O23.7/SiO2试片经1000℃热处理10min,磁阻率为0.8%,而Co27.95Ti19.33O52.72/S... 利用直流与射频磁控溅镀在二氧化硅基板上共沉积制作Co-Ti-O颗粒合金单层薄膜,并通过适当热处理,使薄膜为Co及TiOx混合结晶相.单层颗粒合金薄膜Co59.78Ti16.5O23.7/SiO2试片经1000℃热处理10min,磁阻率为0.8%,而Co27.95Ti19.33O52.72/SiO2试片经1000℃热处理10min,磁阻率高达4%. 展开更多
关键词 颗粒合金薄膜 磁阻
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