应用光切法显微镜测量三维表面的形貌研究

叙述光切法显微镜测量三维表面形貌的方法。采用计算机对在光切法显微镜下拍摄的零件表面截面轮廓图象进行了图象的识别与处理，从而获得表面各个截面形貌的二维轮廓数据，再通过样条插值获得三维表面轮廓形貌。