雪崩探测器用硅材料中微缺陷的初步探讨

综述了国内外同行对硅材料中微缺陷的有关研究，叙述了微缺陷（下称ＭＤ）对硅雪崩光电探测器（Ｓｉ－ＡＰＤ）性能的影响和消除措施，介绍了目前已有的检测方法，最后进行了讨论。