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一种冲击加速度传感器的研究
1
作者
朱目成
《传感器世界》
2000年第12期15-17,共3页
本文介绍一种周边固支圆形膜片硅压阻式冲击加速度计的工作原理和结构,以及硅膜片尺寸与传感器输出的计算关系,冲击加速度传感器的电阻设计,及其器件的制作工艺流程。通过冲击试验,证明了该加速度传感器在高加速度作用下的实用性。
关键词
压阻式传感器
加速度计
冲击实验
下载PDF
职称材料
题名
一种冲击加速度传感器的研究
1
作者
朱目成
机构
西南科技大学机电及自动化工程系
出处
《传感器世界》
2000年第12期15-17,共3页
基金
中国工程物理研究院基金资助项目(98030413)
文摘
本文介绍一种周边固支圆形膜片硅压阻式冲击加速度计的工作原理和结构,以及硅膜片尺寸与传感器输出的计算关系,冲击加速度传感器的电阻设计,及其器件的制作工艺流程。通过冲击试验,证明了该加速度传感器在高加速度作用下的实用性。
关键词
压阻式传感器
加速度计
冲击实验
Keywords
Piezoresistance sensor,Accelerometer,Shock experiment.
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
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1
一种冲击加速度传感器的研究
朱目成
《传感器世界》
2000
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