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光刻探头的共振压力显微系统的研究
1
作者
任韧
徐进
+2 位作者
刘雨君
刘慧玲
任大男
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期249-252,共4页
以磁共振压力显微和半导体核子自旋态研究为目的,采用电子束和等离子体刻印方法制备硅振荡器,脉冲调制序列控制磁共振条件频率和旋转框架翻转,依据样品的自旋-晶格弛豫时间和自旋-自旋弛豫时间,获得了共振显微压力,测试了压力显微的灵...
以磁共振压力显微和半导体核子自旋态研究为目的,采用电子束和等离子体刻印方法制备硅振荡器,脉冲调制序列控制磁共振条件频率和旋转框架翻转,依据样品的自旋-晶格弛豫时间和自旋-自旋弛豫时间,获得了共振显微压力,测试了压力显微的灵敏度。结果表明,光刻的探头具有高Q值和软悬臂低倔强系数K,磁共振压力通过扫描片段和激光光纤干涉得到了极其微小的压力。光刻探头的共振压力显微具有高空间分辨率,兼具核磁共振成像(MRI)和原子压力显微技术(AFM)优点,是一种重要的核自旋探测技术和三维原子分辨率成像的有力方法。
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关键词
半导体光刻
共振压力显微
电子束刻印
等离子刻印
空间分辨率
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职称材料
Pd/Au纳米结构制备和粒子组分自旋的谱学性能研究
2
作者
任韧
徐进
任大男
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第7期1858-1861,共4页
为研究Pd/Au纳米结构制备和电催化性能、控制粒子大小组分和自旋,用油浴热分解方法制备了核/壳纳米结构Pd/Au双金属合金纳米颗粒,采用PVP和多元醇作表面活性剂和稳定剂,依据溶液浓度、颗粒大小、吸附能控制晶相获得了均匀、一致的2层和3...
为研究Pd/Au纳米结构制备和电催化性能、控制粒子大小组分和自旋,用油浴热分解方法制备了核/壳纳米结构Pd/Au双金属合金纳米颗粒,采用PVP和多元醇作表面活性剂和稳定剂,依据溶液浓度、颗粒大小、吸附能控制晶相获得了均匀、一致的2层和3层Pd/Au纳米样品,并采用HAADF和HRTEM测试了纳米结构尺寸形貌,用EDS测试了成分分布,试验产物用TEM/XRD进行了表征,结果表明,Pd/Au具有面心立方八面体结构,与Au/Pd核壳不同,纳米Pd/Au具有活性、耐久性、电催化性和稳定性。
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关键词
Pd/Au活性
油浴
电催化性
稳定性
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职称材料
题名
光刻探头的共振压力显微系统的研究
1
作者
任韧
徐进
刘雨君
刘慧玲
任大男
机构
西安交通大学
光信息科学系
西安交通大学教育部非平衡态与量子调控重点实验室
University of Texas at Austin
出处
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期249-252,共4页
基金
国家自然科学基金项目(10775111)
国家教育部非平衡态与量子调控重点实验室项目
西安交通大学自然基金项目
文摘
以磁共振压力显微和半导体核子自旋态研究为目的,采用电子束和等离子体刻印方法制备硅振荡器,脉冲调制序列控制磁共振条件频率和旋转框架翻转,依据样品的自旋-晶格弛豫时间和自旋-自旋弛豫时间,获得了共振显微压力,测试了压力显微的灵敏度。结果表明,光刻的探头具有高Q值和软悬臂低倔强系数K,磁共振压力通过扫描片段和激光光纤干涉得到了极其微小的压力。光刻探头的共振压力显微具有高空间分辨率,兼具核磁共振成像(MRI)和原子压力显微技术(AFM)优点,是一种重要的核自旋探测技术和三维原子分辨率成像的有力方法。
关键词
半导体光刻
共振压力显微
电子束刻印
等离子刻印
空间分辨率
Keywords
semiconductor photo-etching
resonance force microscopy
EBL fabric
RIE
spatial resolution
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
Pd/Au纳米结构制备和粒子组分自旋的谱学性能研究
2
作者
任韧
徐进
任大男
机构
西安交通大学
光信息科学与技术系
University of Texas at Austin
西安交通大学教育部非平衡态与量子调控重点实验室
西北
大学
数学系
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第7期1858-1861,共4页
基金
国家自然科学基金项目(10775111)
西安市科技计划项目(CXY09021)
西安交通大学自然基金项目和留科学基金项目(20091001)资助
文摘
为研究Pd/Au纳米结构制备和电催化性能、控制粒子大小组分和自旋,用油浴热分解方法制备了核/壳纳米结构Pd/Au双金属合金纳米颗粒,采用PVP和多元醇作表面活性剂和稳定剂,依据溶液浓度、颗粒大小、吸附能控制晶相获得了均匀、一致的2层和3层Pd/Au纳米样品,并采用HAADF和HRTEM测试了纳米结构尺寸形貌,用EDS测试了成分分布,试验产物用TEM/XRD进行了表征,结果表明,Pd/Au具有面心立方八面体结构,与Au/Pd核壳不同,纳米Pd/Au具有活性、耐久性、电催化性和稳定性。
关键词
Pd/Au活性
油浴
电催化性
稳定性
Keywords
Pd/Au core/shell activity
Oil-bathing
Electric catalysis
Stability
分类号
O433.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
光刻探头的共振压力显微系统的研究
任韧
徐进
刘雨君
刘慧玲
任大男
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
2010
0
下载PDF
职称材料
2
Pd/Au纳米结构制备和粒子组分自旋的谱学性能研究
任韧
徐进
任大男
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
0
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职称材料
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