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光刻探头的共振压力显微系统的研究
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作者 任韧 徐进 +2 位作者 刘雨君 刘慧玲 任大男 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2010年第2期249-252,共4页
以磁共振压力显微和半导体核子自旋态研究为目的,采用电子束和等离子体刻印方法制备硅振荡器,脉冲调制序列控制磁共振条件频率和旋转框架翻转,依据样品的自旋-晶格弛豫时间和自旋-自旋弛豫时间,获得了共振显微压力,测试了压力显微的灵... 以磁共振压力显微和半导体核子自旋态研究为目的,采用电子束和等离子体刻印方法制备硅振荡器,脉冲调制序列控制磁共振条件频率和旋转框架翻转,依据样品的自旋-晶格弛豫时间和自旋-自旋弛豫时间,获得了共振显微压力,测试了压力显微的灵敏度。结果表明,光刻的探头具有高Q值和软悬臂低倔强系数K,磁共振压力通过扫描片段和激光光纤干涉得到了极其微小的压力。光刻探头的共振压力显微具有高空间分辨率,兼具核磁共振成像(MRI)和原子压力显微技术(AFM)优点,是一种重要的核自旋探测技术和三维原子分辨率成像的有力方法。 展开更多
关键词 半导体光刻 共振压力显微 电子束刻印 等离子刻印 空间分辨率
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Pd/Au纳米结构制备和粒子组分自旋的谱学性能研究
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作者 任韧 徐进 任大男 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期1858-1861,共4页
为研究Pd/Au纳米结构制备和电催化性能、控制粒子大小组分和自旋,用油浴热分解方法制备了核/壳纳米结构Pd/Au双金属合金纳米颗粒,采用PVP和多元醇作表面活性剂和稳定剂,依据溶液浓度、颗粒大小、吸附能控制晶相获得了均匀、一致的2层和3... 为研究Pd/Au纳米结构制备和电催化性能、控制粒子大小组分和自旋,用油浴热分解方法制备了核/壳纳米结构Pd/Au双金属合金纳米颗粒,采用PVP和多元醇作表面活性剂和稳定剂,依据溶液浓度、颗粒大小、吸附能控制晶相获得了均匀、一致的2层和3层Pd/Au纳米样品,并采用HAADF和HRTEM测试了纳米结构尺寸形貌,用EDS测试了成分分布,试验产物用TEM/XRD进行了表征,结果表明,Pd/Au具有面心立方八面体结构,与Au/Pd核壳不同,纳米Pd/Au具有活性、耐久性、电催化性和稳定性。 展开更多
关键词 Pd/Au活性 油浴 电催化性 稳定性
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