新型Spindt阴极阵列磁敏传感器的研究

提出了一种检测三维磁场的真空微电子磁敏传感器。该传感器采用Spindt阴极阵列作为电子源 ,阳极分为五个区域 ,以便检测发射电子在磁场作用下的偏移。通过不同阴极电压下电子束流的偏移量的差值 ,可求出器件所在位置磁场的三个分量。对传感器的灵敏度和误差进行了模拟计算 ,并研究了它们与阳极电压、阴 阳极间距及阳极电压变化步长的关系。结果表明该传感器的灵敏度约为 80 0 % ,相对误差为 3%。