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题名端面约束单晶硅直梁MEMS扫描微镜应力特性研究
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作者
穆参军
张飞岭
张宁
赵本刚
吴亚明
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机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
西安电子科技大学电子工程学院
西安市户县质量技术监督局
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出处
《机械强度》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第2期225-230,共6页
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基金
上海市科学技术委员光科技专项项目资助(046105006)~~
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文摘
结合微机电系统(micro-electronic-mechanical system,MEMS)扫描微镜结构以及单晶硅材料正交各向异性的特点,理论分析端面约束单晶硅直梁MEMS扫描微镜的应力特性,得到器件工作时扭转梁上正确的应力分布及其特征,所得结论与有限元仿真结果进行比较。结果表明由于端部约束效应的影响,作用在MEMS扫描微镜上的驱动力矩分别通过纯扭转力矩和横向弯矩,在扭转梁上传递,导致在扭转梁产生正应力、附加剪切应力和扭转剪切应力,其中扭转剪切应力最大值位于扭转梁中部截面长边中点处,而正应力和附加剪切应力最大值分别位于约束端部截面四角处和截面短边中点处。随着扭转梁截面形状趋近于窄的矩形,端面约束效应会愈加明显,约束端部截面的正应力越大于其他两种应力,经过有限元分析获得与分析解较为一致的结果。
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关键词
微机电系统
扫描微镜
约束扭转
单晶硅直梁
横向弯矩
扭转力矩
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Keywords
Micro-electronic-mechanical system
Scanning micromirror
Constrained torsion
Single crystal Siliconprismatic bar
Transverse bending moment
Torsion torque
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分类号
TN302
[电子电信—物理电子学]
TB125
[理学—工程力学]
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题名食品防腐剂的安全性评价及使用中存在的问题
被引量:3
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作者
刘红卫
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机构
西安市户县质量技术监督局
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出处
《食品安全导刊》
2013年第6期68-70,共3页
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文摘
综述了食品防腐剂的分类、作用机理,进行了安全性评价,对常见防腐剂的使用、使用中存在的问题进行讨论,概述了非法防腐剂的简单鉴别方法,最后对食品防腐剂的发展方向进行展望。
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关键词
食品防腐剂
安全性评价
存在问题
鉴别方法
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分类号
TS202.3
[轻工技术与工程—食品科学]
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题名浅议计量对企业节能降耗的影响
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作者
朱蕾
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机构
西安市户县质量技术监督局
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出处
《军民两用技术与产品》
2016年第2期239-,共1页
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文摘
提高计量工作在企业生产管理中的作用,进一步使企业尤其是微小企业了解利用计量管理节能降耗给企业生产带来的长远效益.充分依据计量数据,探索改进企业在能耗中合理方案,进行技术改造,使能源得到最大限度的利用,为企业减少生产成本.
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分类号
Z1
[文化科学]
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