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压力传感器的研究现状与发展趋势
被引量:
9
1
作者
吕惠民
田敬民
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第2期11-13,28,共4页
论述了压力传感器的研究现状和发展趋势。列举出大量数据及有关参数,为从事压力传感器研究的科技工作者提供一些参考。
关键词
压力传感器
线性度
测量
下载PDF
职称材料
题名
压力传感器的研究现状与发展趋势
被引量:
9
1
作者
吕惠民
田敬民
机构
西安理工大学应用物理系器件教研室
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第2期11-13,28,共4页
文摘
论述了压力传感器的研究现状和发展趋势。列举出大量数据及有关参数,为从事压力传感器研究的科技工作者提供一些参考。
关键词
压力传感器
线性度
测量
Keywords
Pressure sensor Linearity Measurement
分类号
TH812 [机械工程—精密仪器及机械]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
压力传感器的研究现状与发展趋势
吕惠民
田敬民
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1998
9
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职称材料
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