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压力传感器的研究现状与发展趋势 被引量:9
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作者 吕惠民 田敬民 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1998年第2期11-13,28,共4页
论述了压力传感器的研究现状和发展趋势。列举出大量数据及有关参数,为从事压力传感器研究的科技工作者提供一些参考。
关键词 压力传感器 线性度 测量
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