高纯硅烷生产技术研究进展

主要介绍了高纯硅烷的用途、生产意义、产品现状,详细介绍了现有的生产工艺,分析其优缺点。提出改进的氯硅法工艺,产品纯度能达到99.9999999%,该技术具有完全自主知识产权,可打破国外技术垄断,缓解我国高纯硅烷长期依赖进口的局面。