高频等离子设备的技术应用

高频等离子体作为新兴的生产工艺,在很多方向有着很独特的应用,本文主要介绍了该技术在纳米粉体、球化粉体、粉体喷涂等方面的应用。

高频等离子法制备球形硅微粉的工艺研究

介绍随着电子科技的不断进步,对球形硅微粉需求及产品质量要求越来越高。本研究采用等离子体技术,制备二氧化硅球形粉。本文主要介绍制备的原理、工艺过程以及产品性能。