基于barber电极的线性磁阻传感器的自偏置效应研究

通过电磁学有限元模型,对barber电极偏置的线性各向异性磁阻传感单元的电流和磁场分布进行了仿真计算,研究了磁阻单元中电流产生的纵向和横向磁场对传感器的自偏置效应。数值仿真结果表明,电流为1 mA时产生的横向自偏置磁场约8 A/m。同时,制备了差分输出的磁阻桥,获得了随磁场线性输出的电压,器件的灵敏度约为5.6 mV·V-1·(A/m)-1,线性度优于1.3%。同时,外磁场方向电流为1 mA时,自偏置磁场大小为8~84 A/m,该值大小强烈依赖于电极角度,与理论仿真结果趋势基本一致。研究结果有助于进一步优化线性磁阻传感器,获得高性能的传感器件。