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标准真空电馈通微型磁控管真空计及其性能研究
1
作者
朱冠卿
邹鹏飞
+4 位作者
毕海林
王旭迪
谢斌平
董金奎
曹青
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第5期394-400,共7页
目前冷阴极电离真空计在微型真空系统中的应用较少,文章对一种磁控管真空计(MMG)进行研究,成功达到了微小尺寸与高真空测量水平同时满足的目标,该MMG体积仅有0.3 cm^(3),比目前市售的磁控管真空计小30倍以上,同时由于其连接器设计使其...
目前冷阴极电离真空计在微型真空系统中的应用较少,文章对一种磁控管真空计(MMG)进行研究,成功达到了微小尺寸与高真空测量水平同时满足的目标,该MMG体积仅有0.3 cm^(3),比目前市售的磁控管真空计小30倍以上,同时由于其连接器设计使其能够与标准真空电馈通相适配。用COMSOL模拟了磁控管真空计内部电磁场分布与电子运动轨迹,实验测试得到了MMG在−500~−2500 V电压下10^(−4)~10^(−7)mbar之间的电流与真空度关系曲线,选取最适合MMG测量的电压进行重复测量并拟合得到其灵敏度,将拟合得到的数据与校准真空计测量数据对比得到MMG误差范围。该MMG可用于微型真空系统中10^(−4)到10^(−7)mbar范围真空度的测量。
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关键词
真空测量
磁控管真空计
微型化
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职称材料
题名
标准真空电馈通微型磁控管真空计及其性能研究
1
作者
朱冠卿
邹鹏飞
毕海林
王旭迪
谢斌平
董金奎
曹青
机构
合肥工业大学机械工程学院
费勉
仪器
科技
(
上海
)
有限公司
出处
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第5期394-400,共7页
基金
国家重点研发计划项目(2023YFF0717200)
国家自然科学基金青年基金项目(62101172)。
文摘
目前冷阴极电离真空计在微型真空系统中的应用较少,文章对一种磁控管真空计(MMG)进行研究,成功达到了微小尺寸与高真空测量水平同时满足的目标,该MMG体积仅有0.3 cm^(3),比目前市售的磁控管真空计小30倍以上,同时由于其连接器设计使其能够与标准真空电馈通相适配。用COMSOL模拟了磁控管真空计内部电磁场分布与电子运动轨迹,实验测试得到了MMG在−500~−2500 V电压下10^(−4)~10^(−7)mbar之间的电流与真空度关系曲线,选取最适合MMG测量的电压进行重复测量并拟合得到其灵敏度,将拟合得到的数据与校准真空计测量数据对比得到MMG误差范围。该MMG可用于微型真空系统中10^(−4)到10^(−7)mbar范围真空度的测量。
关键词
真空测量
磁控管真空计
微型化
Keywords
Vacuum measurement
Magnetron gauge
Miniaturize
分类号
TB772 [一般工业技术—真空技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
标准真空电馈通微型磁控管真空计及其性能研究
朱冠卿
邹鹏飞
毕海林
王旭迪
谢斌平
董金奎
曹青
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
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职称材料
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