微型激光扩束镜高质量表面加工工艺的研究

研究了微型激光扩束镜准超光滑表面的加工工艺。分析了机床速度、压力、抛光粉、工作温度、抛光模等对高质量表面的影响。选定了一系列的工艺参数,大幅度地提高了产品的合格率。