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中国超导电子学研究及应用进展 被引量:14
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作者 李春光 王佳 +17 位作者 吴云 王旭 孙亮 董慧 高波 李浩 尤立星 林志荣 任洁 李婧 张文 贺青 王轶文 韦联福 孙汉聪 王华兵 李劲劲 屈继峰 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第1期178-203,共26页
超导体的发现距今已有近110年了,高温超导体的发现也已经有30多年了.超导材料的电子学应用在最近一二十年取得了突破性进展.高温超导微波器件显示了比传统微波器件更优越的性能,已经在移动通信、雷达和一些特殊通信系统中取得了规模化应... 超导体的发现距今已有近110年了,高温超导体的发现也已经有30多年了.超导材料的电子学应用在最近一二十年取得了突破性进展.高温超导微波器件显示了比传统微波器件更优越的性能,已经在移动通信、雷达和一些特殊通信系统中取得了规模化应用.超导量子干涉器件以其磁场和电流测量的超高灵敏度,成为地质勘探、磁共振成像和生物磁成像等领域不可替代的手段.包括超导隧道结混频器、超导热电子混频器、超导转变沿探测器及超导单光子探测器等在内的超导传感器/探测器可以探测全波段的电磁波及各种宇宙辐射,具有接近量子极限的超高灵敏度,在地球物理、天体物理、量子信息技术、材料科学及生物医学等众多前沿领域发挥越来越重要的作用.超导参量放大器已经成为实现超导量子计算的关键器件.超导集成电路技术已被列入国际器件与系统技术路线图,成为后摩尔时代微电子领域的前沿阵地之一.在计量科学中,超导约瑟夫森效应及约瑟夫森结阵器件被广泛应用于量子电压基准和国际单位制基本单位的重新定义中.在当前的量子信息技术热潮中,超导电子学扮演重要角色,同时量子热潮也大力推动了超导电子学的发展.本文主要对近几年我国超导电子学研究和应用的现状与进展进行概括总结. 展开更多
关键词 超导电子学 高温超导微波器件 超导传感器/探测器 超导数字电路
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超导纳米线单光子探测器研究新进展 被引量:6
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作者 张蜡宝 康琳 +1 位作者 陈健 吴培亨 《南京大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2014年第3期254-261,共8页
现代科学技术已经发展到利用单个光子的量子态载运信息和进行计算.因此,高效、灵敏地探测单个光子是量子计量、量子通信、非线性光学等量子信息科学研究中最基础的技术之一.超导纳米线单光子探测器(SNSPD)是一种新型单光子检测器,具有... 现代科学技术已经发展到利用单个光子的量子态载运信息和进行计算.因此,高效、灵敏地探测单个光子是量子计量、量子通信、非线性光学等量子信息科学研究中最基础的技术之一.超导纳米线单光子探测器(SNSPD)是一种新型单光子检测器,具有暗计数低、探测速率高、检测频谱宽等优点,在众多领域存在潜在应用.本文概述了超导单光子探测器的工作机制和理论模型,重点介绍了兼容4inch硅工艺的SNSPD器件的关键技术工艺,如器件设计、材料结构、制备工艺和封装技术等.研制的超导单光子探测器,在1550nm波段,系统的单光子检测效率最高达到75%,暗计数小于100cps,与国际最好水平相当.在不断提高SNSPD性能研究的同时,还开展了利用SNSPD进行光子数分辨的研究,以及将其应用于光时域反射仪(OTDR)中,进行长距离光纤状态的分析和检测研究. 展开更多
关键词 单光子 超导体 纳米线 系统效率
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利用电子束蒸发制备铝隧道结工艺研究 被引量:1
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作者 张静 许伟伟 +4 位作者 昌路 吉争鸣 陆殷华 陈健 吴培亨 《低温与超导》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期32-35,共4页
采用电子束蒸发的方法在Si片上制备超导铝(Al)薄膜。利用X射线衍射和直流四电极电阻法分别测试了厚度从100埃到5000埃的Al薄膜物向组成,超导转变温度(Tc)和临界电流密度(Jc)。当Al薄膜厚度大于500埃时,超导转变温度Tc=1.2K。电子束蒸发... 采用电子束蒸发的方法在Si片上制备超导铝(Al)薄膜。利用X射线衍射和直流四电极电阻法分别测试了厚度从100埃到5000埃的Al薄膜物向组成,超导转变温度(Tc)和临界电流密度(Jc)。当Al薄膜厚度大于500埃时,超导转变温度Tc=1.2K。电子束蒸发制备的Al薄膜性能良好,具有较高的结晶质量,为制备Al超导隧道结奠定了良好基础。对小面积的Al超导隧道结工艺进行了研究,该超导隧道结两层的超导体材料为Al薄膜,中间势垒层材料为Al2O3。其中Al薄膜利用电子束蒸发制备,势垒层通过直接氧化Al薄膜表面实现,该工艺和采用直接蒸发氧化物薄膜工艺相比不仅简单而且能有效防止势垒层不连续造成的弱连接。 展开更多
关键词 电子束蒸发 Al薄膜 铝超导隧道结
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超导单光子探测器研究进展 被引量:2
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作者 张蜡宝 康琳 +1 位作者 陈健 吴培亨 《电光系统》 2010年第4期1-5,共5页
超导单光子探测器是一种新型单光子检测器,它是利用超导超薄薄膜中的非平衡态的热电子效应(non—equilibrium hot electron effect)对单个光子信号进行检测,具有暗计数低和探测速率高等优点。本文概述了超导单光子探测器的工作原理... 超导单光子探测器是一种新型单光子检测器,它是利用超导超薄薄膜中的非平衡态的热电子效应(non—equilibrium hot electron effect)对单个光子信号进行检测,具有暗计数低和探测速率高等优点。本文概述了超导单光子探测器的工作原理、芯片的制备、检测系统的组成和性能指标的表征方法。综述了国内外研究进展和应用,分析了该项研究领域目前存在的问题和面临的挑战。 展开更多
关键词 超导单光子 光子信号检测
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基于超导纳米线单光子探测器深空激光通信模型及误码率研究 被引量:9
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作者 闫夏超 朱江 +7 位作者 张蜡宝 邢强林 陈亚军 朱宏权 李舰艇 康琳 陈健 吴培亨 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第19期282-288,共7页
高速深空通信是深空探测的关键技术之一,具备单光子灵敏度的激光通信系统将大大提高现有的深空通信速度.然而,单光子条件下的激光通信不仅需要考虑传输环境的影响,还需要考虑实际单光子探测器性能和光子数量子态的分布.本文在不考虑大... 高速深空通信是深空探测的关键技术之一,具备单光子灵敏度的激光通信系统将大大提高现有的深空通信速度.然而,单光子条件下的激光通信不仅需要考虑传输环境的影响,还需要考虑实际单光子探测器性能和光子数量子态的分布.本文在不考虑大气湍流影响的情况下,以光电探测模型为基础,引入超导纳米线单光子探测器(SNSPD)系统的探测效率和暗计数,建立了反应系统差错性能的数学模型,提出了系统误码率的计算公式.先对公式中的光强和激光脉冲重复频率对误码率的影响进行仿真,再通过实验结果验证仿真模型.结果表明,光强对误码率的影响最明显,随着光强从0.01光子/脉冲到1000光子/脉冲的增加,误码率从10^(-1)到10^(-7)量级明显下降;激光脉冲重复频率对误码率的影响受到不同光强的制约,但都随着脉冲重复频率的增加呈下降趋势.与此同时,当增加光强或者提高速度时,误码率高于仿真结果,约在10^(-4)量级,其原因可能是实际通信中调制光信号的消光比不足和光纤引入背景噪声提高了系统暗计数.以上模型和实验结果为进一步开展基于SNSPD的月球-地球、火星-地球等高速深空激光通信奠定了基础. 展开更多
关键词 激光通信 光电探测 超导纳米线单光子探测器 误码率
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Nb/AlOx-Al/Nb超导隧道结制备氧化工艺与特性研究
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作者 卢亚鹏 曹春海 +7 位作者 李梦月 许钦印 肖伟 房玉荣 许伟伟 康琳 陈健 吴培亨 《低温与超导》 CAS CSCD 北大核心 2012年第7期35-38,共4页
提出一种氧的等离子氧化的方法改善结区边缘绝缘性能,降低超导隧道结的漏电流。对Al膜进行等离子氧化能够有效的改善氧化膜的绝缘性能,AES分析表明:氧化绝缘层均匀,界面清晰;应用此方法成功制备出较好性能的Nb隧道结。
关键词 超导隧道结 等离子氧化 阳极氧化 制备工艺
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Al/AlO_x/Al超导隧道结的制备工艺研究
7
作者 房玉荣 曹春海 +6 位作者 许钦印 王林 张广涵 姚晓栋 许伟伟 孙国柱 吴培亨 《低温与超导》 CAS 北大核心 2013年第9期47-49,69,共4页
研究了在高阻硅衬底上Al/AlO x/Al隧道结的制备技术,采用电子束蒸发制备Al/AlO x/Al三层材料,湿法刻蚀制备底电极和上电极以及电路连线,PECVD法生长绝缘层(SiO2)保护超导隧道结,RIE刻蚀上电极窗口。在400mK温度下测量了Al/AlO x/Al隧道... 研究了在高阻硅衬底上Al/AlO x/Al隧道结的制备技术,采用电子束蒸发制备Al/AlO x/Al三层材料,湿法刻蚀制备底电极和上电极以及电路连线,PECVD法生长绝缘层(SiO2)保护超导隧道结,RIE刻蚀上电极窗口。在400mK温度下测量了Al/AlO x/Al隧道结样品,得到了较好的隧道结I-V曲线,能隙电压Vg为0.325mV,超导临界电流I c为55nA,漏电流为5nA。 展开更多
关键词 AL AlOx AL 超导隧道结 铝刻蚀 制备工艺
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超导纳米线单光子探测器光子响应机制研究进展 被引量:5
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作者 张彪 陈奇 +9 位作者 管焰秋 靳飞飞 王昊 张蜡宝 涂学凑 赵清源 贾小氢 康琳 陈健 吴培亨 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第19期288-306,共19页
超导纳米线单光子探测器(SNSPD)已在量子信息、深空激光通信、激光雷达等众多领域发挥了重要的作用.虽然SNSPD经过二十年的研究,但其光子响应本征机制还有待完善.深入理解与厘清其光子响应过程是研发高性能探测器的前提与关键.现在较为... 超导纳米线单光子探测器(SNSPD)已在量子信息、深空激光通信、激光雷达等众多领域发挥了重要的作用.虽然SNSPD经过二十年的研究,但其光子响应本征机制还有待完善.深入理解与厘清其光子响应过程是研发高性能探测器的前提与关键.现在较为成熟的超导纳米线单光子探测器响应理论有热点模型和涡旋模型.但是这两种理论都存在一定的缺陷,前者存在截止波长,后者存在尺寸效应,都需要进一步完善.超导相位滑移是超导体的内禀性耗散,有望用于解释超导纳米线单光子探测器的光子响应过程,形成统一完备的理论.这三种模型是对SNSPD光子检测理解的不断深入:热点模型是一种唯象模型,研究电子-声子等准粒子体系的相互作用;涡旋模型由Ginzburg-Landau方程和电磁学方程出发,研究涡旋在超导体中的运动及其带来的超导态耗散;相位滑移模型是基于量子力学的解释,研究热扰动和宏观量子隧穿引发的超导态耗散.本文综述了热点模型、涡旋模型和超导相位滑移的基本概念、发展历史和研究进展,讨论和对比了这三种理论的特点和发展前景,为超导纳米线单光子探测器光子检测理论研究提供参考和借鉴. 展开更多
关键词 超导纳米线单光子探测器 热点模型 涡旋模型 超导相位滑移
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基于超导单光子探测器的红外光学系统噪声分析和优化
9
作者 周飞 陈奇 +11 位作者 刘浩 戴越 魏晨 袁杭 王昊 涂学凑 康琳 贾小氢 赵清源 陈健 张蜡宝 吴培亨 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第6期360-367,共8页
高灵敏度的红外探测系统对于远距离探测有巨大的潜力,但光学系统内部的噪声会抑制探测系统的信噪比,从而降低探测灵敏度与探测距离.本文基于红外超导纳米线单光子探测器,设计了一个工作在中红外波段的光学系统,构建了红外光学系统自发... 高灵敏度的红外探测系统对于远距离探测有巨大的潜力,但光学系统内部的噪声会抑制探测系统的信噪比,从而降低探测灵敏度与探测距离.本文基于红外超导纳米线单光子探测器,设计了一个工作在中红外波段的光学系统,构建了红外光学系统自发辐射计算模型,理论分析了红外光学系统的信噪比和噪声特性.首次提出了利用高性能超导单光子探测器精确表征红外光学系统的微弱背景辐射光信号,为优化设计红外系统提供了依据.并且基于超导单光子探测器的光子计数能力,研究了光学系统的背景辐射对红外探测系统性能的影响,并优化了光学系统的性能.实验结果表明,超导单光子探测器对于分析红外光学系统具有较高的灵敏度,最小可分辨移动距离为2.74×10^(-2)mm,在黑体温度为100℃时,光子计数率提高了6.4×10^(4)cps(1 cps=1 cycle per second),光学系统的耦合效率提升了97%;在黑体温度为102℃时,光子计数率提高了9.1×10^(4)cps,光学系统的耦合效率提升了114%,降低了杂散辐射对探测系统的影响,同等条件下系统信噪比提升2.7倍,对于超导红外探测系统的应用研究具有重要意义. 展开更多
关键词 红外光学系统 超导单光子探测器 灵敏度 信噪比
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太赫兹波段的L-,D-,DL-丙氨酸振动光谱研究 被引量:7
10
作者 傅荣 李哲 +4 位作者 金飚兵 张彩虹 戴浩 薛玉华 陈健 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期2023-2026,共4页
利用太赫兹时域光谱技术(THz-TDS)技术,对L-,D-,DL-α-丙氨酸晶体粉末进行了太赫兹光谱的室温测量。在0.3~3.0THz范围内,观察到数个吸收峰,发现其两种旋光体(L-,D-丙氨酸)与其外消旋化合物(DL-丙氨酸)在吸收峰上有较大差异。同时,运用... 利用太赫兹时域光谱技术(THz-TDS)技术,对L-,D-,DL-α-丙氨酸晶体粉末进行了太赫兹光谱的室温测量。在0.3~3.0THz范围内,观察到数个吸收峰,发现其两种旋光体(L-,D-丙氨酸)与其外消旋化合物(DL-丙氨酸)在吸收峰上有较大差异。同时,运用基于密度泛函理论(DFT)的第一性原理计算,对丙氨酸的3种样品进行了振动光谱的理论模拟,得到了与实验数据较为吻合的结果,指出THz波段的吸收光谱是来源于通过氢键作用产生的分子集体振动。 展开更多
关键词 太赫兹时域光谱技术 丙氨酸 集体振动 密度泛函理论
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磷化铟(InP)在太赫兹波段的特性研究 被引量:2
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作者 张彩虹 王媛媛 +5 位作者 马金龙 金飚兵 许伟伟 康琳 陈健 吴培亨 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期2021-2024,共4页
太赫兹(THz)时域光谱(TDS)技术,能同时测量幅值和相位信息,因而能检测到物质丰富的物理化学性质,已逐渐成为科学界一大热点。磷化铟(InP)因其载流子寿命短、质量小等优良性能,正逐渐成为产生和检测THz波辐射的首选光电导材料之一。文章... 太赫兹(THz)时域光谱(TDS)技术,能同时测量幅值和相位信息,因而能检测到物质丰富的物理化学性质,已逐渐成为科学界一大热点。磷化铟(InP)因其载流子寿命短、质量小等优良性能,正逐渐成为产生和检测THz波辐射的首选光电导材料之一。文章利用THz-TDS测试技术,在室温氮气环境中,对n型0.35Ω.cm的InP材料在0.2~4THz波段的特性进行了研究。文章根据物理传输模型,利用更准确的迭代方式,选用新的初始值,更快更准确的得到了复折射率,介电常数,电导率等THz光学常数,并且用Drude模型进行了理论上的模拟计算,所得结果与实验吻合很好,最后还得到了载流子的寿命、迁移率和浓度等THz重要参数。 展开更多
关键词 太赫兹时域光谱技术 太赫兹光学常数 Drude模型 载流子
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噪声对超导量子比特测量系统的影响 被引量:3
12
作者 王颖 许伟伟 +4 位作者 孙国柱 陈健 曹俊宇 丛山桦 吴培亨 《低温与超导》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期53-55,共3页
详细介绍了噪声对超导量子比特测量系统的影响。测量系统通过对时间的测量来获得单个约瑟夫森结跳变电流统计分布P(I)。在测量电路中采取了一系列的降噪措施,使得实验所能测到的约瑟夫森结的最低等效温度进一步的降低。
关键词 约瑟夫森结 超导量子比特 降噪
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超导磁通量子比特中的共振隧穿现象 被引量:2
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作者 丛山桦 孙国柱 +4 位作者 王轶文 曹俊宇 陈健 于杨 吴培亨 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第A04期489-492,共4页
在20mK的低温下,在由Nb/AlOx/Nb结构成的磁通量子比特样品上,通过初态的制备,成功观测到了双势阱中的共振隧穿现象。这一现象在不同的势垒高度下,都得到了证实。通过对共振峰随时间演化的测量,发现其演化受到隧穿概率与分布概率的影响。
关键词 超导磁通量子比特 共振隧穿 超导量子干涉器件
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低通、带通电路在超导磁通量子比特测量中的应用 被引量:1
14
作者 曹俊宇 孙国柱 +4 位作者 王轶文 丛山桦 陈健 于扬 吴培亨 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第A04期453-456,共4页
在测量超导磁通量子比特信息时,给出了低通和带通两种测量电路。低通电路采用双绞线,通过RC滤波器、铜粉滤波器,再接到样品上。该方法可以用于测量DC-SQUID结的跳变电流统计分布,从而获知量子比特的信息。带通电路用微波同轴线作为导线... 在测量超导磁通量子比特信息时,给出了低通和带通两种测量电路。低通电路采用双绞线,通过RC滤波器、铜粉滤波器,再接到样品上。该方法可以用于测量DC-SQUID结的跳变电流统计分布,从而获知量子比特的信息。带通电路用微波同轴线作为导线,通过衰减器、铜粉滤波器到样品上,再通过电容接地。该方法可以用于测量超导量子比特的量子化能级、迟豫时间、Rabi振荡等特性。 展开更多
关键词 超导磁悬浮 涡旋电流(VC) 自然边界 超导透析技术
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超导磁通量子比特中的光子辅助隧穿
15
作者 孙国柱 王轶文 +6 位作者 丛山桦 曹俊宇 陈健 康琳 许伟伟 于扬 吴培亨 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第A04期440-443,共4页
在极低温的条件下(T=20mK),对Nb/Al0x/Nb构建的超导磁通量子比特进行微波辐照,观察到了光子辅助隧穿。光子辅助隧穿的现象和共振隧穿有着很好的对应关系,证实了超导磁通量子比特中的量子化能级。改变微波功率,进一步得到了多光子作用下... 在极低温的条件下(T=20mK),对Nb/Al0x/Nb构建的超导磁通量子比特进行微波辐照,观察到了光子辅助隧穿。光子辅助隧穿的现象和共振隧穿有着很好的对应关系,证实了超导磁通量子比特中的量子化能级。改变微波功率,进一步得到了多光子作用下的光子辅助隧穿。 展开更多
关键词 超导量子比特 光子辅助隧穿 共振隧穿
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超导单光子探测器暗计数对激光测距距离的影响 被引量:3
16
作者 张森 陶旭 +10 位作者 冯志军 吴淦华 薛莉 闫夏超 张蜡宝 贾小氢 王治中 孙俊 董光焰 康琳 吴培亨 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第18期315-320,共6页
超导纳米线单光子探测器(SNSPD)是一种新型单光子探测器,具有灵敏度高、时间精度高、探测速度快和暗计数低等特点,在激光测距等领域具有重要应用前景.本文将SNSPD应用到1064 nm波段激光测距系统,研究了其暗计数和信噪比对激光测距的影响... 超导纳米线单光子探测器(SNSPD)是一种新型单光子探测器,具有灵敏度高、时间精度高、探测速度快和暗计数低等特点,在激光测距等领域具有重要应用前景.本文将SNSPD应用到1064 nm波段激光测距系统,研究了其暗计数和信噪比对激光测距的影响.基于实验获得的回波数据,结合激光雷达理论,研究了系统信噪比与脉冲积累次数的关系.分析表明,SNSPD暗计数是影响测距距离的关键因素之一.结合仿真,进一步探究了基于SNSPD的激光测距系统信噪比与回波率、暗计数的关系,暗计数较大时,信噪比随脉冲积累次数增加出现波动现象,回波信号湮没.由于SNSPD暗计数极低,本基于SNSPD的测距系统最远测距可达280 km,较同样条件下基于APD探测器的测距系统最远探测距离远40 km,在军事侦查、探测和制导等领域具有重要应用前景. 展开更多
关键词 单光子 超导纳米线 暗计数 激光测距
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Nb/Al-AlO_x/Nb隧道结制备中压控电压源阳极氧化工艺研究 被引量:2
17
作者 查士同 曹春海 +5 位作者 许钦印 李梦月 康琳 许伟伟 陈健 吴培亨 《低温与超导》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期31-33,共3页
采用计算机程控的压控电压源阳极氧化模式研究制备出自对准Nb/Al-AlOx/Nb隧道结的绝缘层Nb2O5/Al2O3/Nb2O5。研究了氧化电压、氧化层的厚度和氧化时间的关系。当阳极氧化电压变化率低于8V/min时,阳极氧化层的厚度基本取决于氧化电压的大... 采用计算机程控的压控电压源阳极氧化模式研究制备出自对准Nb/Al-AlOx/Nb隧道结的绝缘层Nb2O5/Al2O3/Nb2O5。研究了氧化电压、氧化层的厚度和氧化时间的关系。当阳极氧化电压变化率低于8V/min时,阳极氧化层的厚度基本取决于氧化电压的大小,而与氧化电压变化率无关。我们已采用电压源阳极氧化技术成功制备出超导Nb/Al-AlOx/Nb隧道结。 展开更多
关键词 阳极氧化 隧道结 Nb/Al-AlOx/Nb
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超高交联树脂的太赫兹光谱研究 被引量:4
18
作者 唐伟捷 邱慧 +1 位作者 梁兰菊 金飚兵 《新型工业化》 2013年第2期44-50,共7页
本文对超高交联树脂的太赫兹光谱进行了研究.对树脂本体的测量表明在1THz附近其存在一个宽化的弱吸收峰。当树脂吸附了弱酸性的苯酚后,树脂微孔与苯酚分子发生相互作用,使树脂的吸收峰的强度发生明显的变化,这个结果说明太赫兹光谱可以... 本文对超高交联树脂的太赫兹光谱进行了研究.对树脂本体的测量表明在1THz附近其存在一个宽化的弱吸收峰。当树脂吸附了弱酸性的苯酚后,树脂微孔与苯酚分子发生相互作用,使树脂的吸收峰的强度发生明显的变化,这个结果说明太赫兹光谱可以用来研究表面吸附现象,这对物理化学和环境化学有重要的意义。 展开更多
关键词 无线电物理 太赫兹时域光谱 树脂 吸附
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MgO和Si上NbN超薄薄膜的生长研究 被引量:1
19
作者 李阳斌 康琳 +1 位作者 昌路 吴培亨 《低温与超导》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期498-500,508,共4页
我们在单晶MgO(100)、Si(100)和SiOx/Si基片上成功生长了纳米厚度的超薄NbN薄膜,利用现代分析手段:X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)、原子力显微镜(AFM)等技术分析研究了所制备的超薄NbN薄膜的微观结构、厚度、表面界面情况等物理... 我们在单晶MgO(100)、Si(100)和SiOx/Si基片上成功生长了纳米厚度的超薄NbN薄膜,利用现代分析手段:X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)、原子力显微镜(AFM)等技术分析研究了所制备的超薄NbN薄膜的微观结构、厚度、表面界面情况等物理特性。研究表明,在MgO(100)基片上获得了外延生长的单晶NbN超薄薄膜,在Si(100)和SiOx/Si基片上获得的是多晶NbN超薄薄膜。厚度均约6nm左右。这些超薄薄膜的超导转变温度分别为:MgO上薄膜是14.46K,Si和SiOx上薄膜分别是8.74K和9.01K. 展开更多
关键词 NBN 超薄薄膜 外延生长
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随机优化算法应用于太赫兹测厚方法的研究 被引量:6
20
作者 张洪桢 何明霞 +1 位作者 石粒力 王鹏騛 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第10期3066-3070,共5页
镀膜是汽车、船舶、航空制造等行业必不可少的工艺步骤,合理的漆膜厚度不仅有利于涂装质量的稳定,还有利于节约涂料、降低涂装成本。随着工业4.0的时代的到来,在生产线上实现在线、非接触的无损高精度检测是必然趋势。相比于传统的测量... 镀膜是汽车、船舶、航空制造等行业必不可少的工艺步骤,合理的漆膜厚度不仅有利于涂装质量的稳定,还有利于节约涂料、降低涂装成本。随着工业4.0的时代的到来,在生产线上实现在线、非接触的无损高精度检测是必然趋势。相比于传统的测量手段,基于飞行时间原理的太赫兹测厚方法能够实现非接触式的在线测量,但是当样品的光学厚度较小时,太赫兹脉冲将在时域发生混叠,无法直接通过脉冲峰值位置获取准确的飞行时间。针对这一问题,建立了太赫兹反射信号的多元回归模型,借助差分进化算法自动计算模型参数、求解样品厚度,实现了在样品折射率未知情况下对涂层厚度的自动测量;提出了一种基于反射式太赫兹时域光谱系统与随机优化算法的厚度测量方法,针对同一时域信号进行多次计算,验证了差分进化算法的稳定性;分析了样品基底所处平面的法线方向与太赫兹波出射方向之间的角度误差对测量结果的影响;研究了飞行时间法应用于多层样品中测量各层厚度的可行性。结果表明,差分进化算法的计算结果较为稳定,浸锌漆、黑色漆和底漆三种样品厚度计算结果的不确定度分别为0.22μm(223.87μm),0.05μm(54.18μm)及0.08μm(284.95μm),折射率计算结果的不确定度分别为0.004(3.967),0.002(2.091)和0.001(1.769);对于浸锌漆样品,1°的角度误差带来0.073μm的测量误差,测量结果对角度误差具有较强的稳健性。由于多重反射效应的存在,该方法虽然可以求得多层样品太赫兹测量信号中各个反射脉冲的飞行时间,但不能区分反射脉冲来自哪一个反射界面,从而无法求解各层涂层的厚度。分析证明,基于飞行时间原理的测厚方法简单易行,可以较为准确地测量单层样品的厚度,对角度误差不敏感;在拓展到对多层样品进行测量时,该方法具有较大的局限性,不能在时域上区分多重反射脉冲,无法准确计算各层介质的厚度与折射率。 展开更多
关键词 太赫兹脉冲光谱 飞行时间模型 差分进化算法
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