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蒙特卡罗方法模拟PVD薄膜生长的研究进展(综述) 被引量：1
1
作者 谭天亚 李春梅 +4 位作者 吴炜 郭永新 韩宇 张静 苏宇 《辽宁大学学报（自然科学版）》 CAS 2007年第2期120-123,共4页
综述了蒙特卡罗方法模拟物理气相沉积薄膜生长的研究进展.特别对基底的表面形貌、结构缺陷、沉积温度等因素对薄膜生长影响的蒙特卡罗方法模拟的研究进展进行了分析和归纳.最后对蒙特卡罗方法模拟薄膜生长的研究进行了展望.
关键词 蒙特卡罗方法 模拟 薄膜生长 基底
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