高通量中性原子氧束流的发生与控制

采用微波同轴耦合氧气放电产生高密度氧等离子体 ,经磁场约束后与一施加负偏压的金属板碰撞复合并反射 ,得到通量在 1 0 1 3～ 1 0 1 6 atoms·cm- 2·s- 1范围可控、动能约为 6～ 1 0 e V的中性氧原子束流。用双探针技术对生成的氧等离子体进行了诊断测量。