碳氟等离子体改性PET表面的反应机制的研究

利用ＣＦ４与ＣＨ４／ＣＦ４等离子体来处理涤沦膜（ＰＥＴ），讨论了不同摩尔比的碳氟等离子体改性ＰＥＴ表面的作用机制．利用变角Ｘ光电子能谱（ＸＰＳ）和接触角测试技术研究了改性后ＰＥＴ表面的结构和性质．结果表明，碳氟等离子体的处理可以显著地改善ＰＥＴ表面的憎水性．不同摩尔比的碳氟混合气体的作用机制不同，其中碳氟混合气体等离子体以聚合为主，在ＰＥＴ表面形成均匀的改性层；而纯ＣＦ４气体则以刻蚀为主，含氟基团主要分布在ＰＥＴ表面．