废气流量及成分变化在真空系统维护中的应用

分析了典型位置泄漏时的废气流量及成分变化,根据其变化特性判断真空系统的运行状态是否良好,粗略判断泄漏点位置,缩小泄漏排查范围,是缩短RH真空系统泄漏维护的有效手段之一。