VPS60型溅射离子泵电源电路剖析

详尽地分析了ＶＰＳ６０型溅射离子泵电源电路的工作原理将原电路整理简化为电源供给及高压测量电路，泵电流及泵真空压力测量电路、保护系统及遥控电路三大部分。