影响水热合成纳米Fe_3O_4晶粒纯度和平均粒径的因素

系统研究了溶液起始pH值、处理时间和温度等因素对水热合成纳米Fe_3O_4晶粒纯度和平均粒径的影响。结果表明,在实验所采用的溶液浓度下,溶液起始pH11、处理时间为 4h、处理温度为150℃是得到纯度高且平均粒径较小的纳米Fe_3O_4的适宜条件。延长处理时间或升高处理温度,也都能得到纯度高的纳米Fe_3O_4,但平均粒径较大。

热处理单晶硅片中Fe玷污的深能级瞬态谱分析

应用深能级瞬态谱(DLTS)技术,对不同热处理条件下的单晶硅腐蚀片及抛光片进行了Fe玷污分析,系统研究了热处理前预清洗工艺和热处理工艺过程对硅片体内Fe玷污的影响。实验表明,热处理和热处理前预清洗是加工过程中对硅片体内Fe玷污有重大影响的工序,进而提出了有效降低硅片内Fe玷污的热处理控制方法。