钙钛矿复合氧化物在气敏方面的研究进展

综述了近年来国内外钙钛矿型复合氧化物气敏材料在粉体、薄膜方面的制备方法,并对其气敏机理进行分析,认为在制备过程中pH值、退火温度等因素是影响材料性质的主要因素,ABO3型气敏材料A位、B位及贵金属掺杂可改善其材料的某些特性.指出,研制能够同时监测多种气体的全自动数字式智能传感器将是该领域今后的研究方向.

基于磁控溅射的金属氧化物气敏薄膜的研究进展

气体传感器的应用越来越广泛,对气敏材料的研究也越来越深入。磁控溅射法是生产气敏薄膜的一种主要方法,本文重点介绍了用磁控溅射法制备的几种金属氧化物薄膜(SnO2、WO3、ZnO、TiO2、In2O3和NiO等)的气敏性能及其研究进展,对其它薄膜做了简要概述,并提出了目前在气敏薄膜研究中存在的问题。