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一种新型低噪声真空微电子加速度计的接口ASIC(英文) 被引量:1
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作者 刘海涛 温志渝 +2 位作者 陈李 温中泉 贺学峰 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第7期911-916,共6页
真空微电子加速度计基于隧道效应而工作,其内部固有的低频噪声(如1/f噪声)大大降低其信噪比,而且也是影响精度和线性度的主要因素。采用混频技术和相关检测算法,本文研制和设计了一种新型低噪声接口ASIC(专用集成电路)。最后测试了加速... 真空微电子加速度计基于隧道效应而工作,其内部固有的低频噪声(如1/f噪声)大大降低其信噪比,而且也是影响精度和线性度的主要因素。采用混频技术和相关检测算法,本文研制和设计了一种新型低噪声接口ASIC(专用集成电路)。最后测试了加速度计的噪声和线性度,在0~200 Hz范围内输出信号平均噪声密度为69μV.Hz-1/2,线性度相关系数为99.99%,最大的非线性度为0.41%。通过实验结果可以看出该电路能大大改善加速度计的噪声特性和线性度,而且该电路设计思想能用于其它隧道效应加速度计。 展开更多
关键词 真空微电子 ASIC 低噪声 混频 相关检测
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真空微电子加速度传感器闭环控制模型仿真与实现
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作者 范金焰 温志渝 +2 位作者 陈李 温中泉 刘海涛 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2012年第2期222-225,共4页
为提高真空微电子加速度传感器的线性度,提出了基于数字PID控制算法的真空微电子加速度传感器闭环控制方法。建立了真空微电子加速度传感器闭环控制模型,进行仿真分析。设计制作以TMS320VC5416DSP为核心的控制电路,实现了真空微电子加... 为提高真空微电子加速度传感器的线性度,提出了基于数字PID控制算法的真空微电子加速度传感器闭环控制方法。建立了真空微电子加速度传感器闭环控制模型,进行仿真分析。设计制作以TMS320VC5416DSP为核心的控制电路,实现了真空微电子加速度传感器的闭环控制。实验结果表明,在±10m/s2)的测量范围内,加速度计的标度因数为0.212 7,满量程输出电压为0.427 3V,非线性度≤0.98%。该电路能较好的实现真空微电子加速度传感器的闭环控制。 展开更多
关键词 加速度传感器 真空微电子 闭环控制
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低电压电泳芯片非接触电导检测电路设计(英文) 被引量:1
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作者 刘海涛 温志渝 +2 位作者 徐溢 梁静 杨玉发 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第7期1640-1645,共6页
根据低电压集成电泳芯片柱端非接触高频电导器的结构和非接触高频电导检测的基本原理,设计了非接触电导检测电路。该电路包括AC激励信号发生器、I-V转换器、乘法运算器、低通滤波器和差分放大器。运用较少的元器件和较简单的电路形式实... 根据低电压集成电泳芯片柱端非接触高频电导器的结构和非接触高频电导检测的基本原理,设计了非接触电导检测电路。该电路包括AC激励信号发生器、I-V转换器、乘法运算器、低通滤波器和差分放大器。运用较少的元器件和较简单的电路形式实现了检测功能,解决了低电压电泳芯片微弱的非接触电导信号检测困难的问题。通过调节电路参数分别得到了频率为450kHz和1MHz,幅值为10V的正弦信号。在此激励信号下,在集成低电压电泳芯片上对一系列不同浓度的K+溶液进行了非接触电导响应信号的测试。实验结果表明,电路能分辨的离子浓度的下限为10-9;离子浓度为10-9~10-5时,电路响应具有很高的线性度和分辨率。该电路亦可用于其它微弱电导信号检测领域。 展开更多
关键词 电泳芯片 非接触电导 检测电路 I-V转换 乘法运算 低通滤波
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