金刚石薄膜内应力研究现状

主要从内应力的测定方法、内应力与沉积工艺参数之间的关系两方面对国内外金刚石薄膜内应力的研究现状进行了综述。

金刚石薄膜压阻效应研究现状

对硼掺杂p型金刚石薄膜压阻效应的国内外研究现状进行了综述,并对p型金刚石薄膜具有非常显著的压阻效应的产生机制进行了初步分析讨论。

P型金刚石薄膜压阻效应的理论研究

结合形变势理论和价带分裂模型，对硼掺杂Ｐ型金刚石薄膜的压阻效应进行了分析和讨论。结果表明，金刚石中轻、重空穴有效质量的巨大差异是导致其具有显著压阻效应的主要原因之一。并推导出应变诱导轻、重空穴带分裂时压阻因子的近似计算公式，计算结果与实验结果一致。

P型多晶金刚石薄膜压阻效应的研究

结合Mayadas Shatzkes多晶模型 ,对硼掺杂多晶金刚石薄膜的压阻效应进行了分析和讨论 .结果认为 ,价带分裂和晶界散射的联合作用是导致P型多晶金刚石薄膜具有显著压阻效应的主要原因 .推导出考虑晶界散射时压阻因子的近似计算公式 ,计算结果与实际情况相符 .