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磁控溅射制备参数对ZnO∶Al光学性能的影响
被引量:
2
1
作者
殷胜东
马勇
殷霖
《云南民族大学学报(自然科学版)》
CAS
2006年第2期126-129,共4页
ZnO∶A l(ZAO)透明导电薄膜是一种n型半导体,有高的载离子浓度和大的光学禁带宽度,具有优异的电学和光学性能,有极广的应用前景.着重分析了磁控溅射制备参数对光学性能的影响.
关键词
ZAO薄膜
光学性能
磁控溅射
下载PDF
职称材料
ZAO透明导电薄膜的制备及性质
被引量:
3
2
作者
殷胜东
马勇
《中国材料科技与设备》
2006年第1期23-26,共4页
ZAO(ZnO:Al)透明导电薄膜是一种具有高的载离子浓度和宽禁带的半导体氧化物,电学和光学性能优异。极具应用前景。本文介绍了ZAO薄膜的制备现状、特性、磁控溅射参数对其电学和光学性质的影响以及今后研究的方向。
关键词
ZAO薄膜
电学性能
光学性能
磁控溅射
下载PDF
职称材料
掺杂ZnO气敏特性的研究进展
被引量:
1
3
作者
穆建国
马勇
+1 位作者
张召涛
刘润华
《皖西学院学报》
2007年第2期56-59,共4页
ZnO是一种新型的、性能优良的半导体材料。本文介绍了ZnO的制备和掺杂研究进展及其气敏机理,并指出了今后的发展趋势。
关键词
ZNO
掺杂
气敏特性
下载PDF
职称材料
题名
磁控溅射制备参数对ZnO∶Al光学性能的影响
被引量:
2
1
作者
殷胜东
马勇
殷霖
机构
重庆师范大学物理学和信息技术学院
出处
《云南民族大学学报(自然科学版)》
CAS
2006年第2期126-129,共4页
基金
重庆市教委基金项目(040810)
文摘
ZnO∶A l(ZAO)透明导电薄膜是一种n型半导体,有高的载离子浓度和大的光学禁带宽度,具有优异的电学和光学性能,有极广的应用前景.着重分析了磁控溅射制备参数对光学性能的影响.
关键词
ZAO薄膜
光学性能
磁控溅射
Keywords
ZAO films
optical properties
magnetron sputtering
分类号
O484 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
ZAO透明导电薄膜的制备及性质
被引量:
3
2
作者
殷胜东
马勇
机构
重庆师范大学物理学和信息技术学院
出处
《中国材料科技与设备》
2006年第1期23-26,共4页
基金
重庆市教委科技项目(0408l0)
文摘
ZAO(ZnO:Al)透明导电薄膜是一种具有高的载离子浓度和宽禁带的半导体氧化物,电学和光学性能优异。极具应用前景。本文介绍了ZAO薄膜的制备现状、特性、磁控溅射参数对其电学和光学性质的影响以及今后研究的方向。
关键词
ZAO薄膜
电学性能
光学性能
磁控溅射
Keywords
ZAO film
Electrical property
Optical property
Magnctron sputtering
分类号
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
掺杂ZnO气敏特性的研究进展
被引量:
1
3
作者
穆建国
马勇
张召涛
刘润华
机构
重庆师范大学物理学和信息技术学院
出处
《皖西学院学报》
2007年第2期56-59,共4页
基金
重庆市教委科技项目(040810)
文摘
ZnO是一种新型的、性能优良的半导体材料。本文介绍了ZnO的制备和掺杂研究进展及其气敏机理,并指出了今后的发展趋势。
关键词
ZNO
掺杂
气敏特性
分类号
O472 [理学—半导体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
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被引量
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1
磁控溅射制备参数对ZnO∶Al光学性能的影响
殷胜东
马勇
殷霖
《云南民族大学学报(自然科学版)》
CAS
2006
2
下载PDF
职称材料
2
ZAO透明导电薄膜的制备及性质
殷胜东
马勇
《中国材料科技与设备》
2006
3
下载PDF
职称材料
3
掺杂ZnO气敏特性的研究进展
穆建国
马勇
张召涛
刘润华
《皖西学院学报》
2007
1
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职称材料
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