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石英基底的ITO薄膜制备及光电性能
被引量:
1
1
作者
徐书林
胡志强
+2 位作者
张临安
聂铭歧
张海涛
《大连工业大学学报》
CAS
北大核心
2015年第1期60-63,共4页
采用脉冲磁控溅射法在高纯石英基底上制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜。通过X射线衍射仪、扫描电镜对石英基底上ITO薄膜的微观结构及表面形貌进行了分析,并且研究了溅射气压、溅射时间和衬底温度等工艺参数条件对以石英玻璃作基底制备...
采用脉冲磁控溅射法在高纯石英基底上制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜。通过X射线衍射仪、扫描电镜对石英基底上ITO薄膜的微观结构及表面形貌进行了分析,并且研究了溅射气压、溅射时间和衬底温度等工艺参数条件对以石英玻璃作基底制备的ITO薄膜的光电性能的影响。结果表明,在以石英为基底的氧化铟锡透明导电膜,在气压0.7Pa、溅射功率45 W条件下,基片温度为300℃,溅射时间为45min时,可见光透过率达83%,方块电阻达到5Ω左右。
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关键词
氧化铟锡薄膜
脉冲磁控溅射
石英
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职称材料
不同基底的ITO薄膜制备及其光电性能
被引量:
6
2
作者
杨坤
胡志强
+3 位作者
王海权
于洋
张海涛
王志昕
《大连工业大学学报》
CAS
北大核心
2014年第2期135-138,共4页
采用脉冲磁控溅射法在石英基底和柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)上分别制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)对不同基底上ITO薄膜的微观结构及表面形貌进行了对比分析,并且研究了溅射气压、溅射时间...
采用脉冲磁控溅射法在石英基底和柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)上分别制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)对不同基底上ITO薄膜的微观结构及表面形貌进行了对比分析,并且研究了溅射气压、溅射时间和衬底温度等工艺条件对不同基底上制备的ITO薄膜的光透过率和光电性能的影响。结果表明,相同工艺条件下,石英玻璃上ITO薄膜的最佳方块电阻为13.3Ω,可见光透过率为91%;PET上ITO薄膜的最佳方块电阻为15Ω,可见光透过率为85%。二者相比,石英基底上ITO薄膜的光电性能更佳,膜表面的致密度、均匀性更好。
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关键词
脉冲磁控溅射
石英
PET
氧化铟锡薄膜
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职称材料
PET衬底上ITO薄膜的制备及光电性能
被引量:
4
3
作者
杨坤
胡志强
+5 位作者
徐书林
王海权
于洋
刘贵山
姜妍彦
张海涛
《材料工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期71-76,共6页
用脉冲磁控溅射法在柔性衬底聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)上制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜,研究了溅射气压、时间和衬底温度等工艺条件对ITO薄膜光电性能的影响,并采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)对薄膜的物相结构与表面形貌进行...
用脉冲磁控溅射法在柔性衬底聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)上制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜,研究了溅射气压、时间和衬底温度等工艺条件对ITO薄膜光电性能的影响,并采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)对薄膜的物相结构与表面形貌进行了分析。结果表明:薄膜的平均晶粒尺寸随衬底温度的升高而增大;当溅射时间增加时,方块电阻与光透过率均减小;当衬底温度升高时,方块电阻减小,可见光透过率增大。
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关键词
脉冲磁控溅射
氧化铟锡薄膜
PET
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职称材料
原铝旋转偏析净化工艺原理及进展
被引量:
2
4
作者
于洋
胡志强
+1 位作者
王海权
张海涛
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第5期128-132,共5页
旋转偏析是一种高效节能、环境友好的物理冶金方法。该方法具有杂质祛除效果好、提纯时间短、可实现工业规模化生产等优点,并且在日本的铝、硅提纯工业上得到广泛应用。使用该方法对工业原铝进行提纯,其提纯的纯度可以满足不同领域的需...
旋转偏析是一种高效节能、环境友好的物理冶金方法。该方法具有杂质祛除效果好、提纯时间短、可实现工业规模化生产等优点,并且在日本的铝、硅提纯工业上得到广泛应用。使用该方法对工业原铝进行提纯,其提纯的纯度可以满足不同领域的需求。阐述了旋转偏析法的原理、工艺过程及提纯效果,总结了日本旋转偏析法从1984年至今的研究进展,并对我国偏析法提纯前景作出展望。
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关键词
原铝
旋转偏析法
定向凝固
提纯
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职称材料
原铝旋转偏析法净化工艺
被引量:
3
5
作者
于洋
胡志强
+2 位作者
王海权
张海涛
王志昕
《大连工业大学学报》
CAS
北大核心
2015年第4期282-285,共4页
依据偏析法提纯原理,运用坩埚中存在稳定的温度梯度和减少富集层厚度特性,自行设计一台旋转偏析装置,利用该仪器对工业原铝进行大量的旋转偏析提纯实验。结果表明,净化铝在整个结晶过程中由内向外相当于一个定向凝固过程,共晶杂质由内...
依据偏析法提纯原理,运用坩埚中存在稳定的温度梯度和减少富集层厚度特性,自行设计一台旋转偏析装置,利用该仪器对工业原铝进行大量的旋转偏析提纯实验。结果表明,净化铝在整个结晶过程中由内向外相当于一个定向凝固过程,共晶杂质由内向外不断排放而包晶杂质与其相反。同时该仪器在一定程度上可以降低共晶杂质的含量和相应的有效分凝系数,且随着转速的提高其提纯效果越明显。
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关键词
定向凝固
有效分凝系数
冷却体
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职称材料
Sn纳米粒子对AZ31镁合金组织和性能的影响
6
作者
房灿峰
宋丹丹
+4 位作者
刘光旭
张海涛
黄昊
张兴国
董星龙
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第11期2987-2991,共5页
采用直流电弧等离子体法制备Sn纳米粒子,通过搅拌铸造的方法添加到AZ31镁合金当中。通过金相、扫描电镜和拉伸性能测试等技术,考察了添加不同量的Sn纳米粒子对AZ31镁合金铸态组织和力学性能的影响。结果表明,添加Sn纳米粒子可抑制共晶...
采用直流电弧等离子体法制备Sn纳米粒子,通过搅拌铸造的方法添加到AZ31镁合金当中。通过金相、扫描电镜和拉伸性能测试等技术,考察了添加不同量的Sn纳米粒子对AZ31镁合金铸态组织和力学性能的影响。结果表明,添加Sn纳米粒子可抑制共晶相以层片状析出,促进β-Mg_(17)Al_(12)相以骨骼状分布在晶界处。重要的是,观察到Sn纳米粒子在镁合金中生成了纳米尺寸的Mg_2Sn颗粒,但主要以颗粒团簇的形式存在。过量添加Sn纳米粒子,会使Mg2Sn纳米级颗粒团聚严重,降低AZ31镁合金的力学性能。结果表明,添加1%Sn(质量分数)纳米粒子,AZ31镁合金的力学性能最优。
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关键词
Sn纳米粒子
AZ31镁合金
显微组织
力学性能
原文传递
题名
石英基底的ITO薄膜制备及光电性能
被引量:
1
1
作者
徐书林
胡志强
张临安
聂铭歧
张海涛
机构
大连工业大学新能源材料研究所
锦州
新世纪
石英
(
集团
)有限公司
出处
《大连工业大学学报》
CAS
北大核心
2015年第1期60-63,共4页
基金
国家高技术研究发展计划(863计划)项目(2006AA05Z417)
辽宁省教育厅重点实验室科技项目(2008S017)
文摘
采用脉冲磁控溅射法在高纯石英基底上制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜。通过X射线衍射仪、扫描电镜对石英基底上ITO薄膜的微观结构及表面形貌进行了分析,并且研究了溅射气压、溅射时间和衬底温度等工艺参数条件对以石英玻璃作基底制备的ITO薄膜的光电性能的影响。结果表明,在以石英为基底的氧化铟锡透明导电膜,在气压0.7Pa、溅射功率45 W条件下,基片温度为300℃,溅射时间为45min时,可见光透过率达83%,方块电阻达到5Ω左右。
关键词
氧化铟锡薄膜
脉冲磁控溅射
石英
Keywords
ITO films
pulsed magnetron sputter
quartz
分类号
TB321 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
不同基底的ITO薄膜制备及其光电性能
被引量:
6
2
作者
杨坤
胡志强
王海权
于洋
张海涛
王志昕
机构
大连工业大学新能源材料研究所
锦州
新世纪
石英
(
集团
)有限公司
长春天然气有限责任公司
出处
《大连工业大学学报》
CAS
北大核心
2014年第2期135-138,共4页
基金
国家高技术研究发展计划(863计划)项目(2006AA05Z417)
辽宁省教育厅重点实验室科技项目(2008S017)
文摘
采用脉冲磁控溅射法在石英基底和柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)上分别制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)对不同基底上ITO薄膜的微观结构及表面形貌进行了对比分析,并且研究了溅射气压、溅射时间和衬底温度等工艺条件对不同基底上制备的ITO薄膜的光透过率和光电性能的影响。结果表明,相同工艺条件下,石英玻璃上ITO薄膜的最佳方块电阻为13.3Ω,可见光透过率为91%;PET上ITO薄膜的最佳方块电阻为15Ω,可见光透过率为85%。二者相比,石英基底上ITO薄膜的光电性能更佳,膜表面的致密度、均匀性更好。
关键词
脉冲磁控溅射
石英
PET
氧化铟锡薄膜
Keywords
pulsed magnetron sputter
quartz
PET
ITO films
分类号
TB321 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
PET衬底上ITO薄膜的制备及光电性能
被引量:
4
3
作者
杨坤
胡志强
徐书林
王海权
于洋
刘贵山
姜妍彦
张海涛
机构
大连工业大学新能源材料研究所
锦州
新世纪
石英
(
集团
)有限公司
出处
《材料工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期71-76,共6页
基金
国家(863)高技术研究发展计划资助项目(2006AA05Z417)
大连市科技平台建设项目(2010-354)
文摘
用脉冲磁控溅射法在柔性衬底聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)上制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜,研究了溅射气压、时间和衬底温度等工艺条件对ITO薄膜光电性能的影响,并采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)对薄膜的物相结构与表面形貌进行了分析。结果表明:薄膜的平均晶粒尺寸随衬底温度的升高而增大;当溅射时间增加时,方块电阻与光透过率均减小;当衬底温度升高时,方块电阻减小,可见光透过率增大。
关键词
脉冲磁控溅射
氧化铟锡薄膜
PET
Keywords
pulsed magnetron sputter
ITO film
PET
分类号
TB383.2 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
原铝旋转偏析净化工艺原理及进展
被引量:
2
4
作者
于洋
胡志强
王海权
张海涛
机构
大连工业大学新能源材料研究所
锦州
新世纪
石英
(
集团
)有限公司
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第5期128-132,共5页
文摘
旋转偏析是一种高效节能、环境友好的物理冶金方法。该方法具有杂质祛除效果好、提纯时间短、可实现工业规模化生产等优点,并且在日本的铝、硅提纯工业上得到广泛应用。使用该方法对工业原铝进行提纯,其提纯的纯度可以满足不同领域的需求。阐述了旋转偏析法的原理、工艺过程及提纯效果,总结了日本旋转偏析法从1984年至今的研究进展,并对我国偏析法提纯前景作出展望。
关键词
原铝
旋转偏析法
定向凝固
提纯
Keywords
primary aluminium, rotary segregation technology, directional solidification, refining
分类号
TF821 [冶金工程—有色金属冶金]
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职称材料
题名
原铝旋转偏析法净化工艺
被引量:
3
5
作者
于洋
胡志强
王海权
张海涛
王志昕
机构
大连工业大学纺织与材料工程学院
锦州新世纪石英集团
长春天然气有限责任公司
出处
《大连工业大学学报》
CAS
北大核心
2015年第4期282-285,共4页
文摘
依据偏析法提纯原理,运用坩埚中存在稳定的温度梯度和减少富集层厚度特性,自行设计一台旋转偏析装置,利用该仪器对工业原铝进行大量的旋转偏析提纯实验。结果表明,净化铝在整个结晶过程中由内向外相当于一个定向凝固过程,共晶杂质由内向外不断排放而包晶杂质与其相反。同时该仪器在一定程度上可以降低共晶杂质的含量和相应的有效分凝系数,且随着转速的提高其提纯效果越明显。
关键词
定向凝固
有效分凝系数
冷却体
Keywords
directional solidification
effective segregation coefficient
a cooling body
分类号
TB31 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
Sn纳米粒子对AZ31镁合金组织和性能的影响
6
作者
房灿峰
宋丹丹
刘光旭
张海涛
黄昊
张兴国
董星龙
机构
大连理工大学
锦州
新世纪
石英
(
集团
)有限公司
出处
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第11期2987-2991,共5页
基金
国家自然科学基金(51374047
51171033)
辽宁省教育厅科学研究一般项目(L2013031)
文摘
采用直流电弧等离子体法制备Sn纳米粒子,通过搅拌铸造的方法添加到AZ31镁合金当中。通过金相、扫描电镜和拉伸性能测试等技术,考察了添加不同量的Sn纳米粒子对AZ31镁合金铸态组织和力学性能的影响。结果表明,添加Sn纳米粒子可抑制共晶相以层片状析出,促进β-Mg_(17)Al_(12)相以骨骼状分布在晶界处。重要的是,观察到Sn纳米粒子在镁合金中生成了纳米尺寸的Mg_2Sn颗粒,但主要以颗粒团簇的形式存在。过量添加Sn纳米粒子,会使Mg2Sn纳米级颗粒团聚严重,降低AZ31镁合金的力学性能。结果表明,添加1%Sn(质量分数)纳米粒子,AZ31镁合金的力学性能最优。
关键词
Sn纳米粒子
AZ31镁合金
显微组织
力学性能
Keywords
Sn nanoparticles
AZ31 magnesium alloy
microstructure
mechanical properties
分类号
TG146.22 [金属学及工艺—金属材料]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
石英基底的ITO薄膜制备及光电性能
徐书林
胡志强
张临安
聂铭歧
张海涛
《大连工业大学学报》
CAS
北大核心
2015
1
下载PDF
职称材料
2
不同基底的ITO薄膜制备及其光电性能
杨坤
胡志强
王海权
于洋
张海涛
王志昕
《大连工业大学学报》
CAS
北大核心
2014
6
下载PDF
职称材料
3
PET衬底上ITO薄膜的制备及光电性能
杨坤
胡志强
徐书林
王海权
于洋
刘贵山
姜妍彦
张海涛
《材料工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
4
下载PDF
职称材料
4
原铝旋转偏析净化工艺原理及进展
于洋
胡志强
王海权
张海涛
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
2
下载PDF
职称材料
5
原铝旋转偏析法净化工艺
于洋
胡志强
王海权
张海涛
王志昕
《大连工业大学学报》
CAS
北大核心
2015
3
下载PDF
职称材料
6
Sn纳米粒子对AZ31镁合金组织和性能的影响
房灿峰
宋丹丹
刘光旭
张海涛
黄昊
张兴国
董星龙
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
0
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